판매용 중고 KLA / TENCOR eS30 #9280537
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ID: 9280537
빈티지: 2004
Defect inspection system
Stage: X, Y, Z
ESC Interface
Piezo actuators
Faraday cup
Description / Part number
RENISHAW / HEIDENHAIN / P/N: RGH25U15M01C
Precision flatness 6061 aluminum base X, Y Mounting plate / P/N 730-21805-000 Rev BA
X-Axis / P/N: 740-21057-000 Rev EA
Y-Axis / P/N: 585-001-950 Rev D
Y Driver motors / Scales / X, Y Thermistors / Flags interface board 830-21063-000 Rev CB / P/N: 820-21063-000 Rev CB
X Driver interface board (X Flags J16, X Motor J17, Y Motor J3) 831-21062-000 Rev CB / P/N: 820-21062-000 Rev DB
High and low voltage wiring cables included
2004 vintage.
KLA/TENCOR eS30은 생산 및 엔지니어링/연구 환경에 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 선 너비 (line width), 모서리 배치 (edge placement) 와 같은 임계 레이어 매개변수에 대한 정밀도가 높은 측정을 동시에 제공할 수 있습니다. 이 시스템은 3 세그먼트 BDI 레이저, FocusLens가있는 레이저 스캔 헤드 어셈블리 및 초고속 디지털 카메라를 갖춘 KLA 독점 OpticVision 기술을 기반으로합니다. 이러한 구성요소의 조합은 오늘날의 첨단 생산/연구 애플리케이션에 필요한 탁월한 속도, 유연성, 정확성을 제공합니다. 3 세그먼트 BDI 레이저는 3 개의 레이저 빔을 사용하여 기존 단일 레이저 시스템보다 처리량과 성능이 향상됩니다. "레이저 '는 개별적 으로 조율 할 수 있으며, 이" 레이저' 를 생산 도구 로서의 예외적 인 기능 을 제공 한다. 레이저 스캔 헤드 어셈블리는 대형 조리개 포커스렌즈 (FocusLens) 를 사용하여 레이저 빔을 매우 작은 기능에 초점을 맞추고 표면 불규칙성이 매우 낮게 검사 된 기능을 제공합니다. 이것 은 "레이저 '하나 로 검사 하기 어려운 가장자리 와 모서리 를 포함 하여" 웨이퍼' 표면 의 우수 한 범위 를 제공 한다. KLA eS30 은 초고속 디지털 카메라로, 빠른 속도로 형광 이미지를 캡처하여 광학 리소그래피 (lithography) 애플리케이션에 적합합니다. 또한 "와퍼 '나" 레티클' 을 한 번 검사 할 때 부터 끝 까지 빠르게 횡단 할 수 있는 집적 이고 정밀 한 단계 가 있다. 또한, TENCOR eS30에는 자동 오프라인 측정 기능이 있으며, 이는 빠른 레티클 (reticle) 또는 웨이퍼 (wafer) 평가, 자동 데이터 분석 및 녹화에 사용될 수 있습니다. 이 시스템은 측정, 분석, 보고 기능을 갖춘 강력한 소프트웨어 제품군의 지원을 받으며, 사용자는 데이터를 신속하게 평가하고, 보고서를 생성하며, eS30 에서 수집한 데이터를 사용하여 비교 마스크를 만들 수 있습니다. 전반적으로, KLA/TENCOR eS30 은 탁월한 성능과 정확성을 제공하여, 광범위한 Wafer 및 Mask 검사 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다. 레이저 스캔 헤드 어셈블리 (Laser Scan Head Assembly), 초고속 디지털 카메라 (Ultra-Speed Digital Camera), 자동 오프라인 측정 (Automated Offline Measurement) 기능을 포함한 다양한 기능을 통해 모든 생산 및/또는 엔지니어링/연구 환경에 완벽하게 선택할 수 있습니다.
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