판매용 중고 KLA / TENCOR eS30 #9083787

KLA / TENCOR eS30
ID: 9083787
Defect inspection system.
KLA/TENCOR eS30 (KLA/TENCOR eS30) 은 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 반도체 마스크 및 웨이퍼를 검사하는 신뢰할 수 있고 신뢰할 수 있는 도구를 제공합니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 모든 유형의 표면 (surface) 또는 패턴 (pattern) 결함을 신속하게 발견하고 분석할 수 있는 고급 이미징 및 결함 감지 기능을 제공합니다. 통합된 자동 결함 분류 장치 (Automated Defect Classification Unit) 를 통해, KLA eS30은 진정한 결함을 무작위로 발생하는 기능과 효율적으로 분리할 수 있도록 지원합니다. 따라서 사용자는 해당 제품의 품질을 쉽게 확인할 수 있습니다. TENCOR eS30 (TENCOR eS30) 은 기존의 기술을 능가하는 고해상도 이미징을 제공하며, 해상도는 5nm이며, 마스크 및 웨이퍼 패턴의 매우 상세한 기능을 검사하는 데 이상적입니다. 이 기계는 또한 노이즈 (noise) 및 흐림 감소 (blur reduction) 기능을 제공하여 이미지가 가능한 한 선명하고 선명하게 표시되도록 합니다. ES30 은 빠르고 정확한 결함 감지를 위해 설계된 다양한 2D 이미지 처리 알고리즘을 제공합니다. 이러한 알고리즘은 점, 선, 모서리 및 기타 마스크 및 웨이퍼의 특성 피쳐를 검색합니다. KLA/TENCOR eS30 에 내장된 고급 결함 관리 (Advanced Defect Management) 기능을 사용하면 결함 추세를 모니터링하고 제어 상태를 유지하는 데 사용할 수 있는 상세한 결함 보고서를 다운로드할 수 있습니다. 또한 전체 결함 로그에 대한 통합 데이터 분석 및 보고 기능을 제공합니다. 또한, KLA eS30 은 운영 처리량을 향상시키도록 설계된 다양한 자동 기능을 갖추고 있습니다. 사이트 내 마스크 측정, 빠른 설정 시간, 배치 처리, 간단한 작업 프로그래밍을 제공하여 주기 시간 및 생산성을 향상시킵니다. 전반적으로, TENCOR eS30은 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로, 반도체 마스크 및 웨이퍼 검사에 대한 전례없는 정확성과 성능을 제공합니다. 고급 이미징 기능, 기능 감지 알고리즘, 결함 관리 툴을 갖춘 eS30 은 신뢰할 수 있고 안정적인 마스크, 웨이퍼 (wafer) 검사를 원하는 모든 고객에게 이상적인 솔루션입니다.
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