판매용 중고 KLA / TENCOR eS25 #9291483
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KLA/TENCOR eS25는 마스크, 레티클 및 웨이퍼에 대한 임계 크기 및 결함 특성에 대한 자동, 고정밀도 측정을 제공하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 전체 구성 프로세스 전반에 걸쳐 상세한 고해상도 프로세스 제어를 가능하게 합니다. KLA eS25 는 고급 광/이미지 처리 기술을 결합하여 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 기능의 중요한 크기를 빠르고 정확하게 측정합니다. 이 장치는 유연성 있는 설계로, 최대 10nm 이상의 기능을 측정할 수 있으며, 탁월한 해상도와 정확도를 제공합니다. 이 기계는 또한 동급 최고의 이미징 기능을 자랑합니다. 고해상도 이미지를 캡처하고 다양한 광파장 (light wavength) 에 걸쳐 마스크와 웨이퍼를 검사할 수 있습니다. 이 툴은 또한 고속 처리량과 자동 데이터 캡처 (Automated Data Capture) 기능을 제공하여 Wafer 를 신속하게 평가하고 분석하여 패턴을 마스크하고, 프로세스 최적화를 위한 상세한 프로파일 맵을 생성할 수 있습니다. 또한 TENCOR eS25에는 특정 매개변수를 측정하고 모니터링하기 위해 맞춤형으로 구성된 내장 검사 레시피 라이브러리가 포함되어 있습니다. 마스크 및 웨이퍼 이미지 라이브러리 (Library of masks and wafer image) 도 포함되어 있으며, 실제 제조 결과를 예상 패턴 또는 원하는 패턴과 빠르게 비교하는 데 사용할 수 있습니다. 이 에셋은 복잡한 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 검사 작업의 설정 및 실행을 단순화하는 그래픽 사용자 인터페이스와 함께 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 또한 데이터 분석 모듈 (data analysis module) 을 통해 신속하고 정확한 데이터 사후 처리 기능을 통해 안정적이고 일관된 구성 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로, eS25 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 고급 기능과 사용자 친화적인 작업을 제공하여 상세한 프로세스 분석 및 제어를 가능하게 합니다. 각 애플리케이션이 제대로 검사되어 안정적이고 일관성이 유지되므로 다양한 제조 프로세스 (fabrication process) 가 이루어집니다.
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