판매용 중고 KLA / TENCOR es20 #9198565

KLA/TENCOR es20은 반도체 산업에 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고해상도, 고속, 자동화된 포토마스크 및 웨이퍼를 자동으로 검사하여 정확성과 반복 기능을 제공합니다. KLA es20 모델은 KLA 인기 es10 유닛의 업그레이드이며, 업계에서 가장 까다로운 마스크 및 웨이퍼 검사 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 기계는 100mm, 200mm 및 300mm 직경 웨이퍼를 수용 할 수있는 고정 시야 광학 투영 열을 갖추고 있습니다. 또한 이 도구에는 프레임당 12.3 메가 픽셀 (12.3 메가 픽셀) 의 해상도로 웨이퍼에서 이미지를 캡처하는 고성능 CCD 카메라가 장착되어 있습니다. "웨이퍼 '는 검사 중 에 있는" 마스크' 나 "웨이퍼 '에 의해 반사 된 빛 을 모으기 위하여 빨간색 LED 의 배열 에 의해 조명된다. 에셋에는 프로그래밍 가능한 결함 모드, 자동 정렬 모델, 초점 감지 장비 등 여러 도구가 포함됩니다. 검사 시스템은 다양한 소프트웨어 알고리즘을 사용하여 마스크 (mask) 나 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 식별하고 분류합니다. 여기에는 마스크 (mask) 또는 웨이퍼 (wafer) 의 표면에서 입자와 결정을 검출하는 분광법을 사용하는 것이 포함됩니다. 단위는 또한 단일 (single) 과 다중 (multiple) 선 결함을 구분할 수 있으며, 서피스 아래의 결함을 감지할 수 있습니다. TENCOR es20 모델은 와퍼, 장치 수준 결함 (예: 스크래치, 피트), 수율 영향 기능 (예: 핀홀, 공백, 입자) 을 포함하여 빠르고 안정적인 결함 감지를 위해 설계되었습니다. 또한, 이 기계는 다양한 필터 (filter) 와 도구를 갖추고 있으며, 사용자는 다양한 방법으로 획득한 데이터를 분석, 처리할 수 있습니다. 여기에는 이미지 처리 (image processing) 를 사용하여 이미지를 향상시키고 결함을 식별하며 결함이 없는 마스크나 웨이퍼를 묘사하는 3D 이미지를 생성할 수 있습니다. 전반적으로 es20 마스크 및 웨이퍼 검사 도구는 중요한 마스크 및 웨이퍼 검사 요구를 위한 혁신적이고 고급 솔루션입니다. 이 자산은 고급 이미지 캡처 기술, 소프트웨어 알고리즘, 다양한 툴을 결합한 것으로, 결함을 빠르고 신뢰할 수 있는 방식으로 식별하고 평가하는 데 이상적입니다. KLA/TENCOR es20 모델은 고해상도, 정확도, 자동화된 검사 기술, 신속한 결함 감지 기능을 통해 마스크 및 웨이퍼 검사를 최고 수준으로 끌어올리는 데 이상적인 선택입니다.