판매용 중고 KLA / TENCOR es20 #9093683

KLA/TENCOR es20은 실리콘 웨이퍼의 결함을 감지하는 데 사용할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고해상도 이미지 센서와 자동 결함 (Automatic Defect) 분류를 통해 KLA es20은 매우 작은 결함까지도 정확하게 감지할 수 있습니다. 이 시스템은 브라이트필드 조명 (brightfield illumination) 과 이미지 센서를 사용하여 웨이퍼 및 결함의 흰색 조명 이미지를 캡처합니다. 그런 다음 결함 분류 엔진 (Defect Classification Engine) 에서 이러한 이미지를 처리하여 잘못된 양의 결함 검색을 제거하고 각 결함에 분류 유형을 지정합니다. 이 장치에는 특허 결함 분류 엔진이 있으며 CD, 높이, 도펀트, 입자 결함 등 다양한 결함 유형을 감지 할 수 있습니다. TENCOR es20은 1600x1200 해상도의 CCD 이미지 센서가 장착 된 8 인치 웨이퍼 처리 기계를 사용합니다. 이 이미지 센서의 최대 수치 조리개는 0.39, 픽셀 크기는 0.04 마이크로미터로, 이미지 해상도는 9 마이크로미터입니다. 결함 분류 엔진은 고급 알고리즘 (advanced algorithm) 과 패턴 인식 (pattern recognition) 기술을 조합하여 결함을 정확하게 식별하고 분류 유형을 지정합니다. 실시간 (real-time) 기능을 사용하면 결함의 실제 구조를 식별할 수 있으므로 결함 분류가 빨라집니다. Es20에는 또한 감지된 결함을 자동으로 복구 할 수있는 AMR (Advanced Maskless Repair) 기술이 있습니다. 이 도구는 초점 이온 빔 (FIB) 을 사용하여 결함을 제거하므로, 비용이 많이 드는 마스크 세트 없이 자동 결함 복구를 허용합니다. KLA/TENCOR es20은 기존 프로덕션 라인에 통합될 수 있는 유연성을 갖추고 있습니다. 자산은 디스플레이, 제어, 통신 및 도량형 데이터를 포함한 여러 프로세스 데이터 입력을 사용합니다. 이를 통해 연산자는 모델 매개변수를 쉽게 구성하고 다른 결함 조건과 웨이퍼 (wafer) 구성에 대해 모델 매개변수를 사용자정의할 수 있습니다. 간단히 말해서, KLA es20은 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 고해상도 이미지 센서와 자동 결함 분류 엔진으로, 작은 결함을 감지할 수 있습니다. 고급 기능 (예: AMR 기술) 을 사용하면 마스크 세트 비용이 많이 들지 않고도 감지된 결함을 자동으로 복구할 수 있습니다. 기존 생산 라인에 통합되는 시스템의 유연성 (Flexibility to be existing production line) 은 또한 많은 반도체 제조업체들에게 이상적인 선택입니다.