판매용 중고 KLA / TENCOR eDR-5210S #9390422

KLA/TENCOR eDR-5210S는 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA eDR-5210S 는 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 제작을 위해 설계되었으며, 결함 탐지를 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다. TENCOR eDR-5210S는 최첨단 이미지 기술을 사용하여 다양한 포토 마스크 및 웨이퍼에서 미묘하고 복잡한 결함을 감지합니다. EDR-5210S는 고해상도 고화질 B&W CCD 카메라를 통합했으며, 통신 광학 시스템은 400 미크론 이상의 조리개를 제공합니다. 강력한 임베디드 컴퓨터 (Embedded Computer) 와 결합된 맞춤형 이미지 처리 알고리즘을 통해 이미지를 매우 빠르게 처리할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR eDR-5210S의 이미지 처리 기능을 통해 브리징, CD (critical dimension) 오류, 패턴 이동, 정렬 오류와 같은 복잡한 패턴을 식별할 수 있습니다. KLA eDR-5210S 는 기존/계획된 테스트 플랫폼에 유연하게 통합할 수 있도록 개방형 아키텍처를 사용하여 설계되었습니다. 이 장치는 25mm 및 30mm 마스크, 다양한 기판이있는 웨이퍼와 완전히 호환됩니다. 또한 TENCOR eDR-5210S는 타사 소프트웨어 및 하드웨어와 상호 작용할 수 있습니다. 이 기계는 최첨단 마이크로 침식 기술을 사용하여 2 미크론의 해상도로 미세한 결함을 감지 할 수 있습니다. eDR-5210S는 결함 감지 외에도 종합적인 웨이퍼 품질 평가, 균일성 측정, 표면 거칠기, 선 폭, 패턴 무결성 등을 제공합니다. 이 도구의 고급 프로그래밍 기능에는 검사 스크립트를 만들고 수정할 수 있는 직관적인 메뉴 구조의 GUI (Graphical User Interface) 와 잠재적 결함을 신속하게 개략적으로 설명하기 위해 설계된 메뉴 (Menus) 가 포함됩니다. 자산은 또한 나중에 사용할 수 있도록 이미지 데이터를 저장할 수 있습니다. KLA/TENCOR eDR-5210S는 또한 마스크 에칭, X-Ray 이미징 및 표면 스캔을 포함한 광범위한 테스트 프로토콜을 지원합니다. KLA eDR-5210S 는 마스크 제작 및 웨이퍼 검사에 적합하며, 시장에서 가장 정교하고 다양한 검사 모델을 제공합니다. 고급 이미지 처리 기능, 고해상도 카메라, 유연한 프로그래밍 기능을 갖춘 TENCOR eDR-5210S는 마스크 및 웨이퍼 결함을 정확하고 안정적으로 감지할 수 있습니다.