판매용 중고 KLA / TENCOR eDR-5210 #293755073

KLA/TENCOR eDR-5210은 3D 일관성 조명 기술을 사용하여 고정밀 결함 감지를 수행하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 반도체 제조 환경에서 사용하도록 설계되었으며, 다양한 검사 (inspection) 기능을 제공합니다. 첨단 (Leading) 장치와 레거시 (Legacy) 장치 모두에 적합하며, 생산 및 연구 목적으로 사용할 수 있습니다. 이 장치는 큰 형식의 렌즈가 장착 된 13 메가 픽셀 패턴 컬러 CCD 카메라로 구성됩니다. 이렇게 하면 위치한 디바이스의 이미지를 캡처하여 주 제어 장치 (Main Control Unit) 로 전송합니다. 컴퓨터에는 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 와 직관적인 셋업 (Setup) 옵션이 있어 연산자가 결함 검사 및 측정을 위해 매개변수를 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한 이미지 보정, 측정, 결함 분류를 위한 강력한 자동 기능을 제공합니다. KLA eDR-5210에는 통합 3D 일관성 조명 도구가 장착되어 있습니다. 이 기능은 특허를 획득한 "MODLESS" 스캐닝 기술을 활용하여 결함 감지 및 분석 기능을 대폭 향상시킵니다. 또한, 자산은 일관된 조명 수준을 유지하면서 위상과 어두운 이미지를 동시에 캡처 할 수 있습니다. 이 모델에는 종합적인 결함 분류 알고리즘이 장착되어 있어 정확성을 보장합니다 (영문). 여기에는 표면 결함 분류 알고리즘, 이미징 대비 개선 기술, 자동 특성 추적 및 평가, 밝기 향상 전략 및 하위 해상도 피쳐 분석이 포함됩니다. 또한, 각 결함 이미지에는 지정된 결함 범주 및 결함 심각도가 제공됩니다. 마지막으로 TENCOR EDR 5210 장비는 뛰어난 유연성과 확장성을 제공합니다. 즉, 다양한 유형의 작업을 쉽게 처리할 수 있으며, 맞춤형 솔루션 요구 사항에 맞게 손쉽게 구성할 수 있습니다. 또한 다른 소프트웨어 시스템과 통합하여 데이터 관리, 보고, 결함 분석 등을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR eDR-5210은 고도로 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 3D 일관성 조명과 특허를 받은 MODLESS 스캔 기술을 활용하여 탁월한 결함 감지 정밀도 및 신뢰성을 제공합니다. 또한, 이 장치는 포괄적인 결함 분류 분석 시스템과 뛰어난 유연성, 확장성을 제공합니다. 이는 반도체 업계의 생산과 연구 모두에 적합한 선택입니다.