판매용 중고 KLA / TENCOR EAIM+ #9304331

KLA/TENCOR EAIM + 은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로 나노 미터 스케일에서 고급 포토 마스크 및 베어 실리콘 웨이퍼를 검사하는 안정적이고 정확한 방법을 제공합니다. 이 시스템은 자동화된 전체 필드 박스 인 박스 (full-field box-in-box) 도량형으로, 특이 및 회절 표면 결함을 쉽게 감지하는 방법을 제공합니다. 이 장치는 고급 분석 알고리즘을 통한 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 과 자동 도량형 (automated metrology) 의 조합을 사용하여 눈에 숨겨질 수있는 미세한 결함을 감지합니다. KLA EAIM + 기계는 포토 마스크 및 베어 실리콘 웨이퍼 표면에서 핀홀, 분리 된 입자, 참호, 크로스 오버 및 공극과 같은 미세 결함을 감지 할 수 있습니다. TENCOR EAIM + 도구는 완전하게 자동화된 마스크 검사 자산, 풍부한 기능 라이브러리, 유연한 검사 플랫폼 및 표준화된 워크플로로 구성됩니다. 첨단 이미지 처리 (advanced image processing) 알고리즘으로 구동되며, 다양한 결함을 쉽게 감지하고 정량화할 수 있습니다. 고급 패턴 인식 (Advanced pattern recognition) 기능은 견고한 검색 엔진과 함께 사용하면 복잡한 결함 피쳐를 정확하게 식별하고 분류할 수 있습니다. EAIM + 장비는 검사 프로세스를 지정, 예약 및 실행할 수 있는 자동화된 워크플로우 엔진도 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 프로세스를 자동화하고 일관되고 효율적인 결과를 보장하여 수작업 (manual inspection) 과 관련된 시간과 비용을 줄일 수 있습니다. 또한 워크플로우 엔진 (Workflow Engine) 을 사용하면 추적 및 문서화를 쉽게 수행할 수 있으며, 전체 검사 프로세스에 대한 자세한 감사 추적을 제공할 수 있습니다. 모듈식 플랫폼 (modular platform) 을 기반으로 구축된 시스템은 사용자정의 매개변수를 기반으로 다양한 검사 시나리오를 실행할 수도 있습니다. 이는 다양한 스케일과 복잡성의 photomasking 응용 프로그램에 매우 적합한 옵션입니다. 요약하면, KLA/TENCOR EAIM + 는 신뢰할 수 있고 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 장치로서, 고품질, 결함이 없는 포토 마스크 및 베어 실리콘 웨이퍼의 생산을 보장하기위한 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 이 기계는 사용자 친화적이고, 효율적이며, 정확하므로, 엄격하고 정확한 검사 프로세스에 이상적입니다.