판매용 중고 KLA / TENCOR DFIMS Handler for SP1 #9262239

KLA/TENCOR DFIMS Handler for SP1은 제조업체가 생산 라인에 도달하기 전에 결함을 식별하고 수정하도록 설계된 완전 자동화 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 시스템은 KLA 소프트웨어/하드웨어 툴과 완벽하게 통합되어 기존 운영 환경에 손쉽게 통합할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 독점 (advanced proprietary) 알고리즘을 사용하여 패턴 결함을 자동으로 식별하고 분류하고 반도체 생산 과정에서 모니터링합니다. SP1용 KLA DFIMS 핸들러의 주요 구성 요소에는 MIM (Mask Inspection Module) 및 WIM (Wafer Inspection Module) 이 있습니다. MM은 고유한 패턴 검색, 패턴 인식, 결함 분석을 통합하여 마스크 아트워크 내의 결함을 빠르고, 정확하게 감지하고 분류합니다. 500nm 정도의 작은 마스크 좌표보다 높은 성능과 높은 정확도를 제공하며 그레이 레벨 (Gray-level) 및 이진 (Binary) 마스크와 함께 작동합니다. WIM은 조정 가능한 시력 설정으로 초당 최대 30 개의 레티클 (reticle) 에서 패턴 결함을 자동으로 검사합니다. TENCOR Autonomous Control 알고리즘을 기반으로하며 웨이퍼 표면에서 광학 결함을 감지하고 분류 할 수도 있습니다. 또한 TENCOR DFIMS Handler for SP1은 웨이퍼 지원 모듈, 고급 비전 옵션, 결함 라이브러리 생성, 결함 적용 범위 경제, 대화형 데이터베이스 관리 등 다양한 지원 기능을 제공합니다. 웨이퍼 지원 모듈 (Wafer Support Module) 은 제조업체에서 수신한 후 핸들러 (Handler) 를 검사할 때까지 웨이퍼의 현지화 및 실시간 추적 기능을 제공합니다. Logarithmic Vision, Dispersion Vision 및 FFT vision과 같은 고급 비전 옵션은 제조업체에 종합적인 검사 기능을 제공하는 반면, 결함 있는 라이브러리 작성 및 결함 적용 범위 경제학은 마스크와 웨이퍼 확인 프로세스를 단순화하고 자동화합니다. 마지막으로, 대화형 데이터베이스 관리 기능을 사용하면 필요에 따라 데이터 저장소를 손쉽게 액세스, 관리, 업데이트할 수 있습니다. DFIMS Handler for SP1 (DFIMS Handler for SP1) 은 대용량 생산 환경에서 마스크 검사 및 웨이퍼 (wafer) 정렬에 이상적인 솔루션으로, 제조업체가 자사의 제품이 시중에 시장에 도달하고 결함이 전혀 없도록 하는 데 필요한 안정성과 정확성을 제공합니다. 이 솔루션은 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사의 효율성과 안정성을 극대화하기 위해 설계된 비용 효율적인 솔루션입니다.