판매용 중고 KLA / TENCOR CRS 3100 #132119
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KLA/TENCOR CRS 3100은 와퍼 및 마스크 검사 장비로 레티클과 포토 마스크를 포괄적이고 다용도 적으로 검사합니다. 이 시스템은 프로덕션 및 엔지니어링 환경에 사용하도록 설계되었으며, 현재 중요한 작업 (job function) 에 필요한 속도, 광학 정확도 및 반복성을 제공합니다. KLA CRS 3100 장치에는 고급 LED (Advanced LED) 소스가 장착되어 전체 작업 분야에 균일 한 조명을 제공합니다. 따라서 모든 프로덕션 설정에서 마스크 및 웨이퍼 검사 정확도가 매우 높습니다. 광학 기계는 여러 비디오 녹화 및 분석 기능을 통해 매우 높은 공간 해상도를 제공하는 고급 CMOS 기반 검출기 (Advanced CMOS-based detector) 에 의해 더욱 보완됩니다. 고급 옵틱 (optic) 과 디텍터 (detector) 는 모든 세부 사항을 검사하여 결함 감지에서 높은 정확도를 허용합니다. 이 도구의 하드웨어는 다양한 소프트웨어 기능으로 더욱 보완됩니다. 내장형 패턴 (pattern) 및 이미지 분석 알고리즘은 고품질 결함 감지 및 식별 기능을 제공하여, 패턴 검사를 쉽고 빠르게 수행합니다. 에셋은 또한 동적 측정 (dynamic measurement) 을 제공하여 photomask 구성 또는 증착과 같은 동적 프로세스를 실시간으로 분석 할 수 있습니다. 또한 TENCOR CRS 3100 모델은 Wafer 및 Mask-Inspection 기능을 동시에 지원하여 신속하게 검사하고 워크플로우 효율을 극대화할 수 있습니다. 편의를 위해, 장비는 최소한의 노력으로 기존 운영 환경에 쉽게 통합됩니다. 핵심 기능은 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 제공되며, 다기능 광 검사 기능은 독립형 PC에서 제공합니다. 사용자에게 친숙한 설계를 통해 시스템을 쉽게 사용하고 관리할 수 있습니다. 요약하자면, CRS 3100 은 효율적인 설계를 갖춘 고급 마스크 및 웨이퍼 (wafer-inspection) 장치로서 강력한 기능과 기능을 제공합니다. 프로덕션 및 엔지니어링 환경을 위해 설계된 KLA/TENCOR CRS 3100은 내장된 패턴 및 이미지 분석 알고리즘을 통해 빠르고 쉽게 검사할 수 있는 매우 정확한 이미지를 제공합니다. 동적 측정 (Dynamic Measurement) 기능을 통해 신속하게 점검할 수 있으며 기존 운영 환경에 쉽게 통합됩니다. KLA CRS 3100은 안정적이고, 빠르고, 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사 기계를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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