판매용 중고 KLA / TENCOR CRS 2000 #293627297

KLA/TENCOR CRS 2000은 고급 반도체 제조 공정의 심각한 결함을 감지하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고해상도 광학 도량형 (optical metrology) 과 전문가 결함 인식 (expert defect recognition) 알고리즘의 강도를 활용하여 결함을 정확하게 감지하고 하위 미크론 수준으로 분류합니다. 이 견고하고 모든 기능을 갖춘 시스템은 모든 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 에 상하 (geometry) 를 모두 감지하고, 소프트웨어 정의 프로세스 사용자 정의를 적용하여 최대 결함 적용 범위와 정확성을 보장합니다. 이 장치에는 고급 웨이퍼 모니터링 소프트웨어 패키지가 포함되어 있어 운영 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼 수준 (Wafer Level) 및 레이어 무결성 (Layer Integrity) 을 모니터링, 분석 및 예측할 수 있습니다. 컴퓨터에는 고급 이미징 하드웨어 모듈 (advanced imaging hardware module) 이 장착되어 있어, 마이크론 이하의 범위에서 결함을 감지하고 측정할 수 있으며, 일반적으로 누락된 결함이 보이지 않는 것을 감지할 수 있습니다. 또한, 동일한 웨이퍼 (wafer) 의 여러 계층에서 결함 및 이상을 감지할 수 있으며, 주변 영역에서 발생할 수 있는 결함도 모두 감지할 수 있습니다. KLA CRS 2000은 사용자 정의 가능한 매개변수가 있는 알려진 결함 영역의 라이브러리를 사용하여 가장 미묘한 형태의 결함을 감지합니다. 또한, 강력한 분석 도구를 사용하여 이미지를 캡처하고, 실시간으로 표시하며, 검사 프로세스 내의 각 이미지를 비교, 대조합니다. 또한 TENCOR CRS 2000은 여러 칩의 정렬 및 마스크 등록을 신속하게 수행하여 일관된 결함 감지 및 반복성을 보장하는 통합 레이저 도구를 제공합니다. 마지막으로, CRS 2000 은 프로세스를 간소화하고 처리량 및 수익성을 향상시키는 다양한 자동화 솔루션을 제공합니다. 에셋은 자동으로 결함을 감지하고, 수동 검사 시간을 줄이고, 각 웨이퍼에 대한 조명 (Lumination) 및 모델 (Model) 설정을 조정하여 잘못된 결함 비율을 줄이고, 신뢰할 수 있고, 반복 가능한 결과를 허용합니다. 요약하면, KLA/TENCOR CRS 2000은 강력하고 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 최신 반도체 제조 공정의 엄격한 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. 즉, 고해상도 이미징 기능, 전문가의 결함 인식 알고리즘, 자동화 솔루션의 강력한 기능을 활용하여 사용자에게 정확한 결과, 반복성, 향상된 처리량을 제공합니다.