판매용 중고 KLA / TENCOR CRS 2000 #293615914
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KLA/TENCOR CRS 2000은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 다양한 어플리케이션에 대한 고급 이미징 기술과 탁월한 도량형 정확성을 제공합니다. 즉, 운영 기능을 확장하고 전체 공급망에 걸쳐 품질 관리 (Quality Control) 기능을 향상시킬 수 있습니다. 클라 CRS 2000 (KLA CRS 2000) 은 마스크 및 웨이퍼 기판 이미지를 수집하는 고성능 렌즈 시스템이다. 이 장치는 이중 고수치 조리개 (NA) 목표를 갖추고 있으며, 해상도 개선, 초점 깊이 향상 및 필드 깊이를 제공합니다. "렌즈 머신 '은 검출기의 기본 해상도 25 배까지 가능하며 고해상도 검사에 적합하다. 또한, TENCOR CRS 2000은 고속 스캔 모드를 제공하여 사용자가 초당 최대 15 프레임의 이미지를 신속하게 캡처할 수 있습니다. CRS 2000에는 마스크와 웨이퍼 기판을 모두 이미징하기위한 다양한 검출기가 있습니다. 여기에는 와이드 필드 이미징을위한 백라이먼트 CCD와 미세 결함의 고해상도 이미징을위한 GaAs 및 SiC 검출기가 포함됩니다. 고해상도 검출기는 고효율, 저소음, 빠른 노출 시간을 고려하여 설계되었으며, 사용자에게 놀라운 화질과 정확성을 제공합니다. KLA/TENCOR CRS 2000에는 여러 가지 강력한 검사 기능이 있습니다. 이 도구는 최대 0.2 미크론 (미크론) 의 결함을 감지하여 가장 작은 결함을 감지합니다. 또한 특허받은 표면 피쳐 (surface feature) 알고리즘을 통해 0.02 미크론 크기의 작은 기능을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 또한, 에셋에는 결함 맵 라이브러리가 내장되어 있으며, 복잡한 결함 특성화 및 검사가 용이한 강력한 자동 인식 알고리즘이 내장되어 있습니다. KLA CRS 2000은 또한 고정밀 (high-precision) 단계를 갖추고 있으며, 사용자에게 웨이퍼 및 마스크 기판을 정확하게 정렬하고 스캔 할 수있는 기능을 제공합니다. 이 모델에는 선형 단계 (Linear Stage) 와 회전 단계 (Rotational Stage) 가 모두 포함되어 있어 사용자가 기판을 정확하게 배치하고 방향을 지정할 수 있습니다. 따라서 보다 효율적이고 정확하며 정확한 검사를 수행할 수 있습니다. 전반적으로, TENCOR CRS 2000은 다양한 산업 응용 분야에 대한 뛰어난 이미지 해상도와 탁월한 도량형 정확도를 제공하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 강력한 검사 기능을 갖추고 있으며, 가장 작은 결함까지도 감지할 수 있습니다. 또한, 시스템은 정확한 기판 위치 및 방향을 위해 고정밀 단계를 제공합니다. 궁극적으로, CRS 2000은 가장 고급 검사 솔루션이 필요한 모든 사용자에게 이상적인 선택입니다.
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