판매용 중고 KLA / TENCOR CRS 1010S #293830273
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KLA/TENCOR CRS 1010S는 결함 및 결함이 없는 감지 기능을 제공하도록 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 비교할 수없는 속도와 0.2 미크론의 정확도로 검사 할 수 있습니다. 스크래치, 불균일 함, 입자 및 기타 비 균일 성과 같은 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. KLA CRS 1010S는 또한 슬립 및 기울기, 평탄도, 크롬 레이어 두께, 그라디언트 등 다른 생산 문제에 대한 고정밀 감지를 제공합니다. 이 장치는 여러 고급 구성 요소를 결합하여 매우 안정적인 결과를 제공합니다. 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 데이터베이스에 저장된 사용자정의 조정 데이터를 자동으로 생성하여 일관되고 정확한 검사를 보장합니다. 이 기계는 스테이지 카메라에 500kHz 밝기 필드와 원뷰 (OneView) 기술이 적용된 내장형 카메라 컨트롤러로, 이미지 소음을 줄이고 뛰어난 화질과 해상도를 제공합니다. 이 도구는 또한 최신 핫 스왑 단계 이동 (hot-swap phase shifting) 기술을 사용하여 위상 차이 측정의 정확성을 높이며 검사 시간을 줄입니다. 또한 TENCOR CRS 1010S는 단계 높이 측정 및 간섭계를 포함한 고급 웨이퍼 및 마스크 분석 도구를 제공합니다. 초자연적 인 Igrade 감지 및 분석 기능을 통해 가장자리의 결함, 작은 결함, 희미한 결함, 또는 명확한 결함을 파악하여 빠르고 효율적으로 수정 할 수 있습니다. 공구 간 또는 기술 노드 간 비교를 위해 CRS 1010S는 웨이퍼 레벨 오버레이 측정도 제공합니다. 이와 같은 '기술' 과 '분석 툴' 의 조합을 통해 자산은 데이터를 빠르고 정확하게 처리하여 최고의 품질 표준을 보장할 수 있습니다. KLA/TENCOR CRS 1010S는 차세대 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 기술과 장치 제조를 위한 다양한 기판을 검사하는 데 적합합니다. 이 모델은 마스킹, 도량형, 다이 본딩 및 사진 해설에 탁월한 성능을 제공합니다. 고급 구성 요소, 기술, 분석 툴의 강력한 조합으로, 이 장비는 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 구성 요소를 검사하는 데 있어 최고의 정확성과 속도를 제공합니다.
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