판매용 중고 KLA / TENCOR CRS 1010 #9392790

KLA/TENCOR CRS 1010은 반도체 웨이퍼 및 포토 마스크의 결함을 감지 할 수있는 '마스크 및 웨이퍼 검사' 장비입니다. 고급광학· 영상처리시스템을 활용해 결함· 재료 모두 패턴을 분석한다. KLA CRS 1010은 여러 구성 요소를 활용하여 포괄적인 검사 기능을 제공하는 완전 자동화 장치 (fully automated unit) 입니다. 주요 구성 요소는 광학 이미징 머신, 모션 스테이지, 카메라 및 컨트롤러입니다. 이 도구에는 또한 관리자의 프런트엔드 인체 공학 인터페이스 (Front-End Ergonomic Interface) 와 데이터 제어 및 분석을위한 사용자 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 밝은 필드 및 어두운 필드 이미지를 모두 캡처하는 TENCOR CRS 1010의 광학 자산은 고배율 현미경, 고해상도 전동 선형 스테이지, 민감한 고해상도 디지털 카메라로 구성됩니다. 광학은 1.5 미크론 (micron) 해상도를 제공하여 모델이 가장 작은 결함까지도 정확하게 감지 할 수 있습니다. 모션 스테이지는 빠른 스캔 속도를 허용하는 반면, 현미경의 피치, 롤, 요를 제어하여 3 차원 이미지 분석을 제공합니다. CRS 1010 의 이미지 처리 장치 (image processing equipment) 는 결함과 재료 모두에서 패턴을 분석하여, 시스템에서 안정적인 결함 분류 및 수량을 제공할 수 있도록 합니다. 컨트롤러는 카메라와 스테이지를 지시하는 한편, 이미지 수집, 사전 처리, 이미지 비교, 테스트 결과 저장 등을 처리할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 KLA/TENCOR CRS 1010 소프트웨어는 품질 및 프로세스 제어 어플리케이션에 대한 데이터 분석 및 보고 작업을 완전히 자동화할 수 있습니다. 또한 레시피 관리, 실험 설계를위한 시각 도구, 통계 프로세스 제어 등의 기본 정보가 포함되어 있습니다. KLA CRS 1010 (CRS 1010) 은 안정적이고 정확한 마스크/웨이퍼 검사 장치로서, 높은 수준의 정밀도로 결함을 감지하고 최종 사용자가 프로세스 기능을 최적화할 수 있습니다. 신뢰할 수 있는 결함 분류 및 정량화 (quantification) 는 제조업체가 결함 탐지와 관련된 비용을 크게 절감하는 한편, 보고 및 분석에 대한 포괄적인 추적 기능을 제공합니다.