판매용 중고 KLA / TENCOR CRS 1010 #9298930

KLA/TENCOR CRS 1010은 측정 및 검사 시스템의 주요 공급 업체 인 KLA의 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 과 지능형 도량형 (intelligent metrology) 의 고급 기능을 활용하여 포괄적이고 정확한 검사 및 마스크 평가를 사용자에게 제공합니다. KLA CRS 1010 (CRS 1010) 은 대용량 생산 환경의 요구를 충족하도록 설계되었으며, 대부분의 웨이퍼를 단일 레벨 마스크에서 다중 레벨 리버스톤 마스크로 전달할 수 있습니다. TENCOR CRS 1010의 중심에는 고해상도 이미징 장치가 있습니다. 기계 는 "마스크 '와" 웨이퍼' 의 "이미지 '를 최대 1.25" 킬로미터' 의 해상도 와 각도 가 다양 한 각도 로 캡처 하여 검사 결과 의 정확성 을 보장 해 준다. CRS 1010은 특허받은 E-beam 및 X-ray 이미징 기술을 사용하여 마스크 및 웨이퍼에 있는 기능의 존재, 부재 및 레이아웃을 정확하게 측정합니다. 이 도구는 또한 전송 된 광원 (transmitted light) 또는 자동 전송 이미징 (automated transmission imaging) 기술을 사용하여 패턴 레이아웃의 변형을 검사할 수 있습니다. KLA/TENCOR CRS 1010에는 정교한 도량형 (Metrology) 기능도 포함되어 있으며, 설계 레이아웃의 20% 이내까지 기능의 폭과 길이를 측정할 수 있습니다. 에셋은 마스크와 웨이퍼 모두에 핀홀, 피트, 스크래치의 존재를 감지할 수 있으며, 소스 코드 (read-out) 의 결함을 식별하고 표시할 수 있습니다. KLA CRS 1010은 단일 레벨 및 다중 레벨 마스크와 웨이퍼를 모두 정확성과 속도로 처리하도록 설계되었습니다. 이 모델은 최대 32 개의 마스크 레이어를 동시에 심문할 수 있으며, 이는 대용량 생산 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다. 고급 이미징 및 도량형 기능 외에도 TENCOR CRS 1010 은 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 다양한 기능을 제공하여 데이터 및 정보 관리를 용이하게 합니다. 이 장비를 사용하면 직관적인 인터페이스로 정보를 저장, 보기, 분석할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 상세한 보고서를 생성할 수 있으며, 이 보고서를 사용하여 마스크 설계 (Mask Design) 와 개정 (Revision) 의 효과를 분석할 수 있습니다. 또한, 외부 시스템을 통합하여 데이터 공유 (data sharing) 및 결과 분석을 용이하게 할 수 있습니다. CRS 1010은 TENCOR에서 개발한 강력한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 머신으로, 대용량 생산 환경의 까다로운 요구 사항을 충족합니다. 이 도구는 고급 이미징 (advanced imaging) 및 도량형 (metrology) 기능을 제공하여 검사 프로세스의 정확성과 속도를 보장합니다. 또한, 직관적인 인터페이스와 기능을 통해 정보를 손쉽게 저장, 조회, 분석할 수 있으며, 모든 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 평가 요구 사항에 이상적인 솔루션이 됩니다.