판매용 중고 KLA / TENCOR CRS 1010 #9140524

KLA/TENCOR CRS 1010은 반도체 웨이퍼 및 마스크를 자동으로 검사하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 석판 변위, 브리징, 라인 엣지 거칠기, 마이크로 브리징, 핀홀, 자연 결함 등 마스크 및 웨이퍼에서 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 장치는 380 ~ 750 nm의 확장 된 가시광선 범위가있는 본격적인 분광계 (spectrometer) 를 특징으로하며, 가장 작은 결함조차도 검사 할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 높은 신호 대 노이즈 비율에서 결함 특성화가 가능한 민감한 백라이트 이미징 도구를 갖추고 있습니다. KLA CRS 1010에는 진공 실 내부에서 발생하는 웨이퍼 로딩, 언로드 및 처리를위한 통합 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 도 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '를 정확 하게 배치 할 수 있으며, 청정실 환경 때문 에 오염 이 일어나지 않게 된다. 또한 TENCOR CRS 1010에는 고해상도 광학 자산이 포함되어 있어 넓은 시야에서 최대 8mm (길이), 16mm (폭) 의 결함 검사를 할 수 있습니다. 이를 통해 가장 작은 결함도 감지 할 수 있습니다. 또한 CRS 1010은 마스크와 웨이퍼를 병렬로 검사할 수 있으므로 검사 시간이 크게 단축됩니다. 이 모델은 단일 실행으로 최대 4 개의 웨이퍼 또는 마스크를 검사 할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR CRS 1010에는 자동 결함 감지, 식별 및 분류 기능을 포함한 확장 된 이미지 처리 기능이 있습니다. 이렇게 하면 마스크 또는 웨이퍼의 결함을 빠르고, 정확하게 식별하고, 분류할 수 있습니다. 마지막으로, KLA CRS 1010은 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 작동하도록 설계되었습니다. 따라서 시스템을 손쉽게 설치, 운영, 유지 관리할 수 있으며, 모든 사용자가 해당 기능을 최대한 활용할 수 있도록 합니다. TENCOR CRS 1010 (TENCOR CRS 1010) 은 안정적이고 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장치로서 매우 정확한 결과를 제공할 수 있습니다.