판매용 중고 KLA / TENCOR CRS 1010 #9139572
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KLA/TENCOR CRS 1010 Mask & Wafer Inspection Equipment는 광범위한 반도체 장치를 검사하도록 설계된 종합적인 웨이퍼 및 마스크 검사 플랫폼입니다. 최신 이미징 (Imaging) 및 검사 기술 (Inspection Technology) 을 통해 제조 공정에서 최고 수준의 품질을 보장합니다. 이 시스템은 4K 및 자동 스티칭, 고급 결함 엔진 내장, 강력한 이미지 스티칭 엔진을 갖춘 듀얼 CMOS 이미징 어레이로 구성됩니다. 최신 IC 기술로 설계된 이미징 어레이 (Imaging Array) 는 비용 효율적이고 안정적인 방식으로 이미지 검사를 수행합니다. 듀얼 이미징 어레이는 4K 해상도와 지속적인 FOV 조정을 갖춘 2 개의 이미징 센서를 갖추고 있으며, 다양한 NAND, SRAM 및 DRAM 프로세스와 포토 마스크에서 고해상도 검사를 가능합니다. 또한, 이 장치는 완전히 자동화된 스티칭 기능을 제공하여, 여러 개의 4K 프레임을 하나로 묶어 정확한 결함 분석을 위해 높은 배율 이미지를 만들 수 있는 기능을 제공합니다. 고급 결함 엔진은 암흑점, 모서리 결함, 점 결함, 블록 결함 등 다양한 결함을 감지할 수 있습니다. 모든 관련 결함이 이미지에 기록되고 렌더링/구성됩니다. 따라서 사용자는 해당 결함의 정확한 특성을 신속하게 검색, 식별, 분석할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 관련 결함을 신속하게 파악하고 완화할 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 강력한 이미지 스티칭 엔진이 장착되어 있어 최대 500,000 개의 어드레싱 가능한 포인트로 고해상도 이미지를 만들 수 있습니다. KLA CRS 1010 Mask & Wafer Inspection Tool은 향상된 수익률, 출시 시간 단축, 비용 절감 등 반도체 업계의 사용자에게 도움이 되는 여러 가지 기능을 소개합니다. 업계 표준 (Industrial Standard) 및 고객 요구를 충족하는 고품질 (High Quality) 제품을 통해 다양한 결함을 감지할 수 있는 효율적이고 안정적인 방법을 제공합니다. 또한, 자산의 고급 결함 엔진 (Advanced Defect Engine) 및 이미지 스티칭 (Image Stitching) 기능은 사용자가 결함의 영향을 신속하게 분석 및 시각화하여 결함 방지 조치를 보다 정확하고 적시에 구현할 수 있도록 도와줍니다.
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