판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS20V #9262876

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ID: 9262876
빈티지: 2017
Surface measurement systems, 4" - 6" Process: LED PSS Sapphire, 4” 2017 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS20V는 고급 반도체 제조 공정에 결함 감지 및 프로세스 모니터링 기능을 제공하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크, 레티클, 포토 마스크, 웨이퍼의 결함을 최소한의 사용자 개입으로 감지할 수 있도록 설계되었습니다. 최첨단 디지털 이미징 기술이 적용되어 빠른 웨이퍼 스캐닝이 가능합니다. 이 장치는 마스크 또는 레티클을 빠르게 스캔할 수 있는 완전 자동 광학 (optical) 도구 헤드를 사용합니다. 공구 헤드는 고속 모터에 의해 구동되며, 중요한 장치 기능의 이미지를 정확하게 캡처할 수있는 고해상도 광학 스캐너 (optical scanner) 를 포함합니다. 그런 다음, 고출력 이미지 처리 기계에 의해 이미지를 처리하여 1 미크론까지 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 KLA CANDELA CS 20 V (Multi-Zone Auto-Focus) 옵션은 광학 도구의 초점을 자동으로 조정하여 정확한 이미지를 얻는 데 필요한 시간을 대폭 단축합니다. 또한, 자산에는 아웃오브바운드 (out-of-bound) 결함 수준 조건을 즉시 감지할 수 있는 고급 결함 검토 (advanced defect review) 모델이 장착되어 있습니다. 이 결함 검토 (Defect review) 장비는 잘못된 경고와 심각한 결함을 구분하기 위해 결함을 정확하게 측정하는 기능도 제공합니다. 이 시스템은 터치스크린 사용자 인터페이스와 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 쉽게 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 이를 통해 엔지니어는 웨이퍼 스캔 작업을 신속하게 예약하고 고급 스캔 매개변수를 정의할 수 있습니다. 또한 CS20V 는 강력한 통계 분석 모듈을 통해 프로세스 추세를 추적하고 수익률을 최적화할 수 있습니다. 전반적으로, TENCOR CANDELA CS 20-V는 반도체 제조업체가 지속적으로 변화하는 반도체 시장에서 경쟁력을 유지할 수 있도록 설계된 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. 이 머신은 강력한 디지털 이미징 기능, 고급 결함 검토 도구 (Advanced Defect Review Tool), 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 갖추고 있어 프로세스를 최적화하려는 제조업체에 이상적인 선택입니다.
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