판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS20R #9148287
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ID: 9148287
웨이퍼 크기: 2"-8"
Surface measurement system, 2"-8"
Stains: 20um Dia, 10Å Thickness
Parameters: Ra, Rq, Wa, Wq
Film thickness uniformity: 5Å <Thermal oxide <1000Å
Repeatability: CV ≤ 5.0%
Illumination sources:
50 mW Laser
405 nm Wavelength
Operator interface:
Trackball
Keyboard
Power: 220 V, 60 Hz, 1 kW
Air pressure: 95~110 PSI
Air flow rate : 2 CFM 1/4" OD, 3/16” ID
Includes: Polyurethane tube.
KLA/TENCOR Candela CS20R은 단일 레이어 및 다중 레이어 포토 마스크 및 웨이퍼 모두에서 결함을 안정적으로 찾도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템의 독특한 3D 이미징 기술은 초고선명 옵틱 (optic) 과 최대 45äm 해상도로, 가장 작은 결함까지도 매우 정확하게 감지 할 수 있습니다. CS20R의 중심에는 특허를받은 5 메가 픽셀 CCD 검사 센서가 있습니다. 이 센서는 가시광선 (visible and infrared lumination) 과 적외선 (infrared) 조명을 결합한 이중 조명 장치를 갖추고 있어 대비를 강화하고 결함 감지를 향상시킵니다. 이 기계는 또한 기존 시스템보다 45 배 이상 큰 넓은 시야 (field of view) 를 특징으로하며, 여러 번 스캔할 필요없이 넓은 영역 검사를 가능하게 합니다. 또한 CS20R 은 간편하고 직관적인 사용자 친화적인 소프트웨어 인터페이스 (software interface) 를 제공합니다. 다양한 패턴 인식 (pattern recognition) 및 분석 도구 (analysis tools) 를 통해 사용자는 단일 레이어 및 다중 레이어 표본을 빠르고 정확하게 스캔할 수 있습니다. 또한 CS20R은 결함 분류, 검증, 검토 등의 특정 작업에 대해 여러 소프트웨어 커널과 통합됩니다. 기술적으로 진보된 기능 외에도 CS20R 은 강력하고 신뢰할 수 있는 플랫폼 (platform) 을 기반으로 구축되어 있어, 운영 환경에서 매우 안정적인 운영 및 유지 보수 작업을 수행할 수 있습니다. '무중단 운영' 을 위해 설계되었습니다. 즉, 가동 중지 시간이 거의 없으며, 다양한 하드웨어/소프트웨어 옵션으로 자산을 업그레이드할 수 있습니다. 전반적으로 KLA CANDELA CS 20R은 마스크와 웨이퍼 검사를 위해 엄청나게 강력하고 신뢰할 수있는 모델입니다. 장비의 고유한 3D 이미징 (3D Imaging) 기술은 듀얼 라이트 (Dual-Light) 시스템을 통해 가장 작은 결함까지 감지 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 견고한 플랫폼 (Strust Platform) 을 기반으로 하여 바쁜 프로덕션 환경에서 안정적인 작동을 가능하게 하며, 기계의 작동을 단순하고 직관적으로 만드는 다양한 자동 패턴 인식 (Automated Pattern Recognition) 및 분석 도구 (Analysis Tools) 를 제공합니다.
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