판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS20R #293609511

KLA/TENCOR Candela CS20R (KLA/TENCOR Candela CS20R) 은 진공 환경에서 작동하는 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 웨이퍼 및 마스크의 자동 특성 및 결함 분석에 사용됩니다. CS20R에는 300mm 스테이지가 있어 상단면 이미지와 횡단면 이미지를 모두 고정밀도 샘플 정렬, 패턴 지정, 측정할 수 있습니다. 통합 필터는 이미징 충실도 (Imaging Fidelity) 를 향상시키고 넓은 파장 범위에서 측면 이미징을 가능하게합니다. CS20R은 브라이트 필드 (brightfield) 및 다크 필드 이미징 (darkfield imaging) 기술을 사용하여 마스크 또는 웨이퍼 표면의 전체 전방향성 반사도를 포착합니다. 데이터는 Fluorescence Correlation Spectroscopy (FCS) 를 통해 획득되어 마스크 또는 웨이퍼에서 스크래치, 에칭 패턴 등의 잠재적 결함을 감지합니다. 시스템의 멀티빔 LensEngine은 상단 및 하단 보기 이미지에서 데이터를 가져옵니다. 넓은 시야에서 대비, 색조, 패턴 인식에 최적화되었습니다. CS20R에는 고급 데이터 획득 및 분석 소프트웨어도 장착되어 있습니다. 많은 양의 데이터를 단시간 내에 분석할 수 있으며, 사용자 개입을 최소화할 수 있습니다 (영문). 분석에 의해 생성 된 통계 (statistics) 는 결정을 내리고 결과에 대한 피드백을 제공하는 데 사용될 수 있습니다. CS20R은 밀봉된 인클로저에 장착되도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 환경 관리 를 향상 시키고, 수집 한 "데이터 '의 정확성 에 영향 을 줄 수 있는 먼지, 흙, 기타 요소 로부터의 간섭 을 최소화 하는 데 도움 이 된다. CS20R은 안정적이고 효율적이도록 설계되었습니다. 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 의 결함 또는 불규칙성을 신속하게 감지할 수 있으며, 정확한 의사 결정에 필요한 데이터를 사용자에게 제공합니다. 고급 이미징 기술과 소프트웨어 기능을 갖춘 KLA CANDELA CS 20R은 안정적이고 비용 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다.