판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS20R #293605955

ID: 293605955
빈티지: 2011
Surface measurement system 2011 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS20R은 사진 마스크, IC 레이아웃 및 IC 리소그래피 결함을 정확하게 측정하고 감지하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 2048 x 2048 픽셀 검출기가 있으며, 현재 사용 가능한 모든 수리 해상도 마스크 및 웨이퍼 검사 장치에 대한 최고 해상도를 제공합니다. 또한 다중 축 스캔 단계 (Multi-Axis Scan Stage), 빠른 검사 및 정렬 기능, 정확한 측정을 위한 고강도 램프 헤드 등이 포함됩니다. 이 기계는 또한 지연 시간 (delay time) 과 이미지 최적화 (image optimization) 를 포함한 다양한 고급 프로세스 컨트롤을 갖추고 있습니다. KLA CANDELA CS 20R은 마스크 수정, 검사 및 웨이퍼 특성에 고급 광학 및 패턴 인식 알고리즘을 사용합니다. 이 도구는 새로 설계된 MOS (metal-oxide semiconductor) 포워드 뷰 카메라와 후면 (way) 카메라를 갖추고 있습니다. 자산 작업은 하위 픽셀 해상도로 웨이퍼를 패턴화하는 반면, 금속-산화물 반도체 (MOS) 전방향 뷰 카메라는 웨이퍼를 정렬하는 데 사용되며, 후방 (rear-view) 방식의 카메라는 웨이퍼의 정확한 측정을 제공합니다. 이 모델에는 다양한 소프트웨어 툴 (Software Tools) 과 전용 알고리즘 (Proprietary Algorithm) 이 장착되어 있어 Wafer에서 관찰하기 전에 설계에서 결함이 감지됩니다. 또한, 이 장비는 자동화된 결함 인식 및 분류 프로세스의 사용을 지원합니다. TENCOR CANDELA CS-20 R에는 마스크 수정 및 리소그래피 작업에 유용한 몇 가지 기능이 있습니다. 이미지 최적화 (image optimization) 기능은 레티클의 정확한 색상화를 보장하는 반면, 지연 (delay) 및 오버랩 (overlap) 스캔 기능은 패치의 효과적인 포지셔닝 및 스캐닝을 보장합니다. 빠른 검사 속도는 현재 사용 가능한 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 가장 빠르고, 가장 높은 해상도를 제공합니다. 이 시스템은 Windows 및 UNIX 시스템과도 호환되므로 쉽게 설치하고 사용할 수 있습니다. TENCOR CANDELA CS 20 R은 신뢰할 수 있고 효과적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장치로, 포토 마스크, IC 레이아웃 및 IC 리소그래피 고객에게 차세대 결과를 제공합니다. 이 제품은 결함을 신속하게 검사하고 분류할 수 있도록 설계되었으며, 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 및 내장 시정 조치 (내장 Corrective Action) 는 IC 제조와 관련된 모든 프로세스에 유용합니다. 이 기계는 안정적이고 경제적이며, 마스킹 및 사진 촬영 검사에 저렴한 솔루션을 제공합니다.
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