판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS20 #9214843
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판매
ID: 9214843
웨이퍼 크기: 2"-8"
Surface measurement system, 2"-8"
Thickness: 350 μm – 1100 μm
Materials:
Any opaque
Polished surface
Scatters: ≥ 10% of incident light
Defect sensitivity
Size: 0.08 μm Diameter
PSL Sphere equivalent capture rate: ≥ 95%
Depth of focus
Maximum allowable under bow: +/- 15 μm
Edge exclusion:
Imaging: No exclusion
Defect analysis: User configurable, varies with wafer size
Nominal: 2"-8"
R-θ Co-ordinates:
Co-ordinate precision: 80th Percentile ≤ 150 μm
Co-ordinate accuracy: 80th Percentile ≤ 150 μm
Spatial resolution
Spacing: ≥ 10 μm
Minimum wafer outer edge: 8"
Cassette handling
Standard: Single puck up to 200 mm
Illumination source
Laser: 50 mW
Wavelength: 405 nm
Operator interface
Trackball and keyboard standard
Options:
Dual cassette handling
GEM-SECS
Light tower
Diamond scribe
Calibration standards
Air: CDA 95-110 PSI, 2 CFM
Power supply:
110 – 120 VAC, 8A, 50/60 Hz
100 VAC, 10A, 50/60 Hz
220 VAC, 5A, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR Candela CS20은 반도체 산업에서 사용되는 웨이퍼 및 마스크에서 서브 미크론 입자, 결함 및 오염을 감지하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. CS20의 디자인은 주사 전자 현미경 (SEM) 을 기반으로하며, 시야가 큰 불투명 한 물질을 검사 할 수있는 가변 압력 챔버 (variable pressure chamber) 를 사용합니다. 디지털 광학 검사, 듀얼 빔 시스템 (dual-beam system) 및 고급 빔 전류 제어 (advanced beam current control) 를 통해 패턴 가장자리의 변형을 서브 미크론 수준으로 감지 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 자체 전문 소프트웨어 제품군과 함께 작동하도록 설계되었습니다. KLA CANDELA CS-20은 독점 디자인과 고급 이미징 기술로 빠르고, 고해상도 영역 스캔이 가능합니다. 이를 통해 사용자는 기존 검사 시스템이 탐지할 수없는 분 (minute), 견고성 (hard-to-spot) 결함 및 오염을 감지 할 수 있습니다. 기계는 마스크 또는 웨이퍼에서 가장 작은 기능 (예: 스크래치, 구덩이, 결함, 패턴 오정, 입자 내) 을 식별 할 수 있습니다. 또한 CS20은 자동화된 Z축 제어 (Z축 제어), 프로그래밍 가능한 이미지 처리 (programmable image processing), 자가 학습 알고리즘 (self learning algorithm) 등의 기능으로 생산성을 향상시켜 결함을 자동으로 인식하고 모니터링할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, CS20은 현재 산업 테스트 웨이퍼 현미경 시스템과 호환되며, 기존 검사 프로세스에 더 쉽게 통합됩니다. 이 도구에는 장애 안전 (fail-safe) 운영 자산 (fail-safe operation asset) 및 내장 모니터링 모델 (in-built monitoring model) 과 같은 여러 가지 안전 기능이 포함되어 있어 장비가 항상 안전하게 작동하는지 확인합니다. 또한, 시스템 설치/실행을 지원하는 KLA 자체 맞춤형 서비스/지원이 제공됩니다. 전반적으로 TENCOR CANDELA CS 20은 고급, 빠르고, 신뢰할 수있는 검사 장치를 제공하여 웨이퍼 및 마스크에서 입자, 결함, 오염된 물질을 신속하게 감지하고, 또한 매우 생산적이고, 안정적이며, 안전합니다.
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