판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS20 #293607165

KLA/TENCOR Candela CS20은 최대 200mm 반도체 웨이퍼를 검사 할 수있는 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 자동 결함 및 마스크 등록을 위해 HDR-3000 하이브리드 패턴 인식 (hybrid pattern recognition) 기술을 사용하여 뛰어난 감도와 정확도를 제공합니다. 이 장치의 고급 광 설계에는 6 개의 UV 및 가시 채널이 포함되어 있으며, 마스크 또는 웨이퍼의 여러 가지 유형의 기능 (예: 전체 보기, 라인 에지 및 격자 개체) 을 검사할 수 있습니다. 또한 KLA CANDELA CS-20은 레티클 (reticle) 과 포토 마스크 (photomask), 초고속 처리량 및 10 년 미만의 제품 수명을 포함한 다양한 재료 검사를 지원하도록 설계되었습니다. 이 기계에는 밝기, 비스듬한 각도 어두운 필드, 밝은 어두운 필드, 편광된 어두운 필드, 비스듬한 각도 밝기 등 최첨단 조명 시스템과 하드웨어 구성 요소가 장착되어 있습니다. 고급 옵틱 도구에는 4 개의 OTF (On-The-Fly) 카메라가 장착되어 있으며, 최대 1000배까지 확장 할 수 있으며, 웨이퍼 또는 마스크에서 가장 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. TENCOR CANDELA CS 20에는 ADR (Automated Defect Review) 자산이 추가로 장착되어 있으며, 이는 패턴 배치에 대한 인쇄 거부 및 X/Y 번역 오류를 식별할 수 있으며 웨이퍼 검사에 자동 레티클을 제공 할 수 있습니다. 또한 자동 정렬 (Auto-Align) 을 포함한 이미지 분석 소프트웨어를 사용하여 정렬 정확성을 보장하고 Imcover (Imcover) 를 통해 금속 및 비금속 피쳐 결함의 적용 범위 맵을 제공합니다. CS20은 웨이퍼 및 마스크 검사에 이상적이며, 총 결함 수준을 최대 40% 까지 줄일 수 있습니다. 신속하게 결함을 파악, 분류, 매핑하고, 문제를 신속하게 해결하며, 잘못된 경고를 줄입니다. 더욱이, 이 모델은 높은 처리량 (throughput yends) 과 결함 개수 (defect count) 로 업계 최고의 경쟁업체와 비교될 정도로 신뢰성이 뛰어납니다. KLA CANDELA CS 20은 우수한 성능 외에도, 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 사용자 친화적으로 설계되었으며, 사용자에게 웨이퍼 또는 마스크의 결함을 보다 쉽게 검사, 분석, 수리할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR CANDELA CS-20은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 고성능 및 안정적인 장비입니다. 첨단 옵티컬 설계 (Optical Design) 와 자동 시스템 (Automated System) 은 정확하고 고감도 검사를 제공하여 최고의 수율 및 생산 처리량을 위한 결함을 적시에 복구할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 사용 편의성 (Use-Use) 을 통해 가장 복잡한 검사 작업을 위한 비용과 시간을 줄일 수 있습니다.