판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS20 #293597265

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ID: 293597265
웨이퍼 크기: 5"
빈티지: 2006
Surface measurement system, 5" 2006 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS20은 세계 최고의 다용도 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 오늘날 첨단 반도체 업계의 까다롭고 변화하는 요구를 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 결함 신호를 감지하고, 특성화하고, 분석할 수 있는 탁월한 기능과, 탁월한 정확도로 기능 매개 변수를 제공합니다. KLA CANDELA CS-20은 레티클과 웨이퍼를 모두 검사할 수 있으며, 비교할 수없는 결함 감도, 웨이퍼 레벨 및 기능 수준 특성, 타의 추종을 불허하는 결함 분류 기능을 제공합니다. 7K x 4K 가변 해상도 CCD 카메라를 사용하는 혁신적인 이미징 아키텍처가 특징입니다. 이 강력한 해상도, 읽기 속도 (read-out rate) 및 가변 뷰 (variable field of view) 조합을 통해 레티클과 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있습니다. 이 장치의 강력한 이미지 획득 알고리즘은 양수 (positive) 및 음수 (negative) 기능을 빠르고 정확하게 특성화할 수 있습니다. TENCOR CANDELA CS 20은 포스트 프로세싱, 명암비 수정, 해상도 향상, 광학 개선 등 다양한 명암비 향상 방법을 제공합니다. 이렇게 하면 다양한 유형의 배경 패턴, 레이어, 노이즈가 존재할 때 정확한 측정이 가능합니다. 도량형 (metrology) 측면에서, 기계는 기본 패턴 인식에서 복잡한 피쳐 측정에 이르기까지 크기 및 형태 매개변수를 분석하는 다양한 도구를 제공합니다. 또한 신경망 및 퍼지 로직에 기반한 강력한 결함 분류 기능을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 잠재적 결함 유형을 파악할 수 있고, 다른 프로세스에 가장 적합한 결함을 선택할 수 있습니다 (영문). 또한 TENCOR Candela CS20에는 자동 웨이퍼 관리, 이미지 분석 및 기타 고급 엔지니어링 분석 도구가 포함되어 있어 완전 자동화 및 로봇 검사 프로세스가 가능합니다. 이 도구는 전용 웹 기반 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 제어되며, 이를 통해 사용자는 마스크 및 웨이퍼 검사 프로세스에서 수집한 데이터를 액세스하고 분석할 수 있습니다. 전반적으로, CANDELA CS-20은 혁신적인 다용도 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 자산으로, 최신 반도체 제작의 까다로운 요구를 충족시키는 포괄적인 기능과 기능을 제공합니다.
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