판매용 중고 KLA / TENCOR Candela 7100 #293798768

ID: 293798768
빈티지: 2013
Optical surface analyzer Power supply: 115V AC, 10 A, Single phase, 50/60 Hz 2013 vintage.
KLA/TENCOR Candela 7100은 복잡한 마스크 및 웨이퍼 디자인의 이미징 선명도와 정확성을 향상시키기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 독특한 멀티 레이어, 마이크로 가성 이미징 기술과 빠르고 정확하며 서브 미크론 광학을 결합합니다. KLA Candela 7100 시스템의 기반은 멀티 레이어 이미징 기술로, 표면 결함을 억제하면서 뛰어난 이미지 해상도를 제공합니다. 이 장치에는 독립적인 멀티 레이어 카메라 (multi-layer camera) 두 개가 포함되어 있어 마스크/웨이퍼의 양쪽을 동시에 검사할 수 있습니다. 이 카메라는 또한 최적의 이미지 성능을 위해 고급 포커싱을 위해 고급 옵틱을 통합합니다. 고급 (Advanced) 알고리즘은 시스템의 카메라에서 캡처한 이미지 데이터를 분석하는 데 사용됩니다. TENCOR Candela 7100에 사용 된 알고리즘은 결함을 감지하고, 평가하고, 허용 할 수 없거나, 허용되지 않는 것으로 분류하도록 설계되었습니다. 따라서 주의가 필요한 문제를 신속하게 파악할 수 있습니다. 이 도구에는 이미지의 선명도를 향상시키는 다양한 [이미지] 처리 도구가 포함되어 있습니다. 자동 이미지 등록 (Automated Image Registration) 기능을 통해 마스크 및 웨이퍼를 다양한 수준의 정밀도 및 세부 정보와 연구하고 상호 연관시킬 수 있습니다. 또한 Candela 7100의 이미지 처리 도구는 픽셀별 이미지 자동 분석을 지원합니다. 이렇게 하면 쉽게 보이지 않을 수 있는 문제 (예: 작은 입자 또는 왜곡) 를 식별할 수 있습니다. KLA/TENCOR Candela 7100은 최대 4,000hm x 4,000hm의 패턴 크기로 마스크와 웨이퍼를 모두 검사 할 수 있습니다. 단일 초점 평면 및 다중 초점 평면 이미징을 위해 x, y 및 -단 동작을 제공합니다. 또한 [자르기], [회전], [이동] 과 같은 시야의 확장과 기능을 지원하여 이미지 해상도를 향상시킵니다. 에셋은 최대 500 um/s 이상의 속도로 마스크와 웨이퍼를 검사하도록 설계되었습니다. 요약하면, KLA Candela 7100은 고해상도 이미징 및 정확한 서브 미크론 광학을 제공하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 이 장비에는 여러 가지 이미지 처리 도구와 결함 감지, 분석, 분류를위한 맞춤형 알고리즘이 포함되어 있습니다. 향상된 이미지 해상도, 이미지 등록 기능을 통해 빠르고 안정적인 검사 서비스를 제공합니다.
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