판매용 중고 KLA / TENCOR Archer #9199198

KLA/TENCOR Archer는 반도체 제조 공정을 위해 설계된 자동화된 고배율, 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 제품은 고급 옵틱 (optic) 과 이미지 처리 기술을 사용하여 가공 마스크 및 웨이퍼 기판의 결함을 감지하고 특성화합니다. 이 시스템은 선, 점 패턴, 응력, 잔해, 균일하게 채워지지 않은 인터페이스, 균일하게 개발되지 않은 구조와 같은 다양한 결함 유형에 대해 반도체 웨이퍼와 마스크를 정확하게 검사합니다. 또한 고정 패턴 구조의 전기 특성을 측정 할 수 있습니다. 이 장치는 두 가지 구성 요소 (이미징 머신과 검사 헤드 모듈) 로 구성됩니다. 이미징 도구에는 결함 이미지 캡처를위한 넓은 영역 CCD (Charge-Coupled Device) 가 포함되어 있습니다. 또한, 고해상도 현미경은 정확한 결함 위치 및 식별을 위해 광학 이미지를 제공합니다. 조정 가능한 조명 에셋 (Adjustable illumination asset) 을 통해 모델은 더 엄격한 공차와 더 복잡한 패턴의 차세대 마스크를 만들 수 있습니다. 검사 헤드 (Inspection Head) 모듈에는 자동화된 알고리즘을 사용하여 결함 특성을 계산하는 특수 결함 측정 서브시스템이 포함되어 있습니다. 모듈은 정확한 정렬 하위 시스템과 통합되어 있어 웨이퍼 (Wafer) 와 마스크 (Mask) 의 선 (Line) 과 패턴 (Pattern) 기능을 비교하고 올바르게 정렬할 수 있습니다. KLA Archer 장비는 탁월한 신뢰성과 반복성을 제공하도록 설계되었으며, 빠르고 정밀한 검사 및 측정이 가능합니다. 반도체 검사 (semiconductor inspection) 프로세스의 비용을 절감하고 처리량을 증가시키는 유연한 자동화 솔루션으로 설계되었습니다. 이 시스템의 기능은 고품질 솔루션을 통해 반도체 제조업체가 심각한 결함을 빠르고 정확하게 감지하고 격리할 수 있도록 지원합니다 (영문). 이렇게 하면 개선 된 프로세스와 재료로 제조된 장치의 수율 향상, 품질 향상 을 얻을 수 있습니다.