판매용 중고 KLA / TENCOR Archer XT+ #9374830

KLA/TENCOR Archer XT + 는 혁신적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 고급 자동, 고정밀 및 360도 이미징 기술을 제공합니다. 이 시스템은 소프트웨어 기반 이미지 처리와 결합된 FFI (full-field inspection) 를 사용하여 웨이퍼 및 마스크를 신속하게 검사합니다. FFI는 모든 크기의 결함을 쉽게 감지할 수 있는 고해상도 (High Resolution) 및 고대비 (High Contrast) 이미징 기능을 제공합니다. 또한, 이 장치 는 여러 가지 강력 한 특징 을 지니고 있어서, 모든 결함, 오염, 기타 결함 을 신속 하고 정확 하게 감지 할 수 있다. KLA Archer XT + (KLA Archer XT +) 를 사용하면 웨이퍼 및 마스크 표면의 품질을 실시간으로 모니터링할 수 있으므로 다양한 wafer 및 mask 응용 프로그램을 검사할 수 있습니다. 이 기계에는 검사 중인 영역의 실시간 매핑을 제공하는 고속 웨이퍼 자동 매핑 (AutoMapping) 도구가 포함되어 있습니다. 이 자산은 또한 이중 파장 조명 모델을 사용하며, 이는 다양한 재료 및 프로세스 단계에 최적화되어 있습니다. 이 장비는 또한 고급 결함 감지 (Advanced Defect Detection) 및 분류 알고리즘을 사용하여 결함 및 기타 오염 물질을 식별, 찾기 및 분류합니다. 이것은 이미지 대비 패턴 인식 알고리즘과 강력한 레이저 정확한 패턴 융합 기술을 사용하여 수행됩니다. 따라서 결함 또는 오염의 심각도와 유형을 신속하게 파악할 수 있습니다. TENCOR Archer XT + 는 결함 및 오염 분류를위한 다양한 모드를 제공합니다. 여기에는 사용자 정의 결함 검사 프로파일, 단일 점 감지 (single point detection) 및 다중 점 결함 순위 모드 (multi-point defect ranking mode) 가 포함되며, 이를 통해 감지된 결함이나 결함을 빠르고 정확하게 확인할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 다양한 포괄적인 결함 보고 (Firect Reporting) 옵션을 통해 사용자가 결함 검사 결과 및 기타 관련 정보를 요약하는 보고서를 빠르고 효율적으로 작성할 수 있습니다. 이 장치는 석판 및 CMP 웨이퍼, 마스크 등 다양한 웨이퍼 및 마스크 유형을 수용 할 수 있습니다. 아처 XT + (Archer XT +) 는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 혁신적이고 강력한 기계로, 고급 이미징, 검사, 결함 분류 기능의 독특한 조합을 제공합니다. 이 도구는 가장 작은 결함, 오염 물질 (contaminant) 까지 탐지, 분류할 수 있으므로 안정적이고 정확한 검사가 필요한 모든 어플리케이션에 적합합니다.