판매용 중고 KLA / TENCOR Archer XT #9241251

KLA / TENCOR Archer XT
ID: 9241251
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2005
Overlay measurement system, 8" 2005 vintage.
KLA/TENCOR Archer XT는 반도체 IC의 고속, 고정밀 특성을 제공하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA 아처 XT (Archer XT) 는 고급 옵틱 및 이미징 기술을 활용하여 매우 작은 규모에서도 고해상도로 웨이퍼 표면의 기능과 결함을 식별 할 수 있습니다. 이미징을 위해 TENCOR Archer XT에는 듀얼 10-MPixel 카메라와 고급 광원이 장착되어 있습니다. "카메라 '들 은" 웨이퍼' 표면 의 "이미지 '를 찍으며, 다른 신호 들 과 결합 되어 결함 을 정확 하고 신속 하게 특징 지을 수 있는 상세 한" 이미지' 를 만든다. 광원 (light source) 은 장치를 철저히 검사하는 데 필요한 최적의 수준의 명암과 밝기를 제공합니다. 아처 XT (Archer XT) 에는 웨이퍼 표면에서 가장 작은 결함조차도 정확하게 감지 할 수있는 패턴 인식 시스템 (pattern recognition system) 이 장착되어 있습니다. 정교한 알고리즘과 적응 형 광학 (adaptive optics) 을 결합하여, 이 단위는 볼 수없는 가장 작은 결함조차도 감지 할 수 있습니다. KLA/TENCOR Archer XT는 사용자 친화적 인 GUI를 통해 작동이 간편합니다. 또한 다양한 강력한 분석 툴 (analysis tools) 을 통해 결함의 특성을 파악할 수 있습니다. 여기에는 여러 이미지를 분석하여 참조 이미지 (reference image) 와 비교하고, 개별 이미지를 오버레이 (overlay) 하여 잠재적 결함을 신속하게 파악하고, 다양한 형식으로 데이터를 익스포트, 분석하는 기능이 포함됩니다. 클라 아처 XT (KLA Archer XT) 는 마스크 및 웨이퍼 검사 기능 외에도 오버레이 정확도, 라인 너비, 크리티컬 디자인 치수 등의 프로세스 매개변수를 측정하여 사용자에게 설계에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 이 기계는 또한 상황별 모드의 결함을 측정 할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 신속하게 문제를 파악하고, 더 조사할 수 있습니다. 전반적으로, TENCOR Archer XT는 강력하고 사용자 친화적 인 마스크 및 웨이퍼 검사 도구로, 다양한 형식과 표면에서 결함을 신속하게 식별하고 격리시킬 수 있습니다. 고급 옵틱, 이미징 기술, 정교한 분석 툴을 갖추고 있어 IC 특성 및 설계 검증에 적합합니다.
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