판매용 중고 KLA / TENCOR Archer XT+ #9231431

KLA/TENCOR Archer XT + 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 복잡한 마스크 및 웨이퍼 패턴을 검사하기위한 포괄적 인 웹 제어 시스템입니다. 이 장치는 다양한 고급 기술 (advanced technologies) 을 사용하여 나노 미터 (nanometer) 수준에서 복잡한 결함을 감지하고 수정하여 최고의 프로세스 정확도와 수율을 보장합니다. XT + 기계에는 다양한 광학 기술과 정교한 이미지 처리 기술을 결합한 고급 DD&C (Defect Detection & Classification) 기술이 포함되어 있어 마스크 및 웨이퍼 패턴에서 하위 미크론 결함을 감지하고 찾습니다. DD & C는 공중 이미지, 산란 측량, photomask 이미지, 초점 시퀀스, 활성 위상 대비, 희미한 산란 측량 및 다크 필드 이미징 등 다양한 옵션을 분석하는 알고리즘을 사용합니다. 이 도구는 작은 피쳐 크기를 감지하고 구조적 결함, 포토마스크 결함, 트랩된 전하 (trapped charge) 와 같은 심각한 결함을 식별할 수 있습니다. XT + 에셋에는 또한 치수가 길고 짧은 피치 (pitch) 기능에 대한 미크론 (micron) 이하의 검사를 가능하게하는 리토 도량형 플랫폼이 장착되어 있습니다. 따라서 결함 밀도가 크게 감소하여 프로세스 제어가 향상되고 생산성이 향상됩니다 (영문). XT + 에는 필름 스트레스 도량형 (film-stress metrology) 이 포함되어 있으므로 기능의 선형성을 측정 할 수 있으며, 보다 정확한 프로세스 모델링 및 고품질 재료의 소싱이 향상됩니다. 이 모델에는 자동 CD (Critical Dimension) 도량형이 장착되어 있으며, 전체 웨이퍼에서 프로세스 변형을 정확하게 측정할 수 있습니다. XT + 장비는 고급 패턴 인식 (pattern recognition) 기술을 사용하여 추적 및 결함 위치를 자동화할 수 있습니다. 또한 빠른 결함 분류 및 검증을위한 고속 지능형 결함 등록 시스템 (HI) 도 갖추고 있습니다. XT + 는 또한 화면 잠금 타이머, 액세스 제어, 데이터 암호화 등 다양한 웹 제어 안전 기능을 제공합니다. KLA Archer XT + 마스크 및 웨이퍼 검사 장치는 복잡한 마스크 및 웨이퍼 패턴을 검사하기위한 포괄적 인 기계입니다. 고급 DD&C 기술, 리토 도량형 플랫폼, 필름 스트레스 도량형 및 자동 CD 도량형의 조합은 최고 수준의 정확성과 수율을 제공합니다. 자동화된 결함 추적, 결함 위치, 지능적인 결함 등록을 통해 신속한 결함 분류 및 검증을 수행할 수 있습니다. 또한 XT + 도구는 보안 향상을 위해 여러 가지 웹 제어 안전 기능을 제공합니다. 이를 통해 TENCOR Archer XT + 마스크 및 웨이퍼 검사 자산은 복잡한 웨이퍼 및 마스크를 검사하는 데 적합합니다.