판매용 중고 KLA / TENCOR Archer XT+ #9221909

KLA/TENCOR Archer XT + 는 고급 프로세스 노드 기술을 위해 완전히 통합 된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA Archer XT + 는 고급 스캔 전자 현미경 (SEM) 기술과 고감도 접촉 이미징 기술을 하나의 통합 패키지로 통합합니다. 고해상도, 3D 다중 레이어 패턴화 및 10배 이상의 해상도로 측정할 수 있습니다. TENCOR Archer XT + 시스템은 나노 미터 수준의 패턴화 정확도를 달성하는 고성능, 광학 현미경 기반 정렬 장치를 갖추고 있습니다. 정렬 기계는 검사 시간을 줄이고, 데이터 정확도를 향상시키고, EUV, 이중 또는 3 중 패턴, 구리 증착과 같은 복잡한 프로세스의 수율을 늘리도록 설계되었습니다. 이 도구는 또한 고해상도 3D 패턴화 시각화를 가능하게 하는 다중 레이어 이미징 에셋을 갖추고 있습니다. 다중 레이어 이미징 모델은 SEM 및 원소 분석의 조합을 사용하여 패턴 레이어의 고해상도 3D 이미지를 생성합니다. Archer XT + 장비는 또한 결함 감지 및 패턴 인식을위한 고감도 접촉 이미징 기술을 통합합니다. 이 기술은 매우 작고 밀도가 높은 구조에서도 매우 민감한 검출 (detection) 및 결함의 특성을 제공합니다. 또한 기능 수준 결함 분석과 포괄적 결함 분류를 모두 지원합니다. 또한 KLA/TENCOR Archer XT + 시스템은 고급 결함 분류 및 데이터 분석 도구를 제공합니다. 이러한 도구를 사용하면 결함 데이터를 신속하게 분석하고, 결함을 분류하고, 근본 원인을 파악할 수 있습니다. 이 장치는 또한 처리량 향상을 위해 다수의 타사 자동화 칩과 통합됩니다. KLA Archer XT + 는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. 고급 스캐닝 전자 현미경, 고해상도 이미징, 결함 감지, 데이터 분석 툴은 고급 프로세스 노드를 위한 강력한 고성능 솔루션을 제공합니다. 이 제품은 수익률을 높이고 비용을 절감하려는 파운드리 (Foundries) 와 패브리스 (Fabless) 고객 모두에게 적합합니다.