판매용 중고 KLA / TENCOR Archer XT+ #293604014

KLA/TENCOR Archer XT + 는 자동 처리량 최적화를 통해 대용량 결함 감지를 위한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. On-product 및 post-etch 민감도 테스트를 수행하여 생산량 향상 및 EOL (End-of-Line Manufacturing) 테스트를 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 검사 시스템은 특수 광학/반도체 결함 감지 장치로 구성됩니다. 고속 프레임 속도에서 고해상도 이미징 기능을 지원하는 5 축 다차원 스캔 헤드가 특징입니다. 이 기계에는 MultiSense2 Equalization Technology도 포함되어 있으며, 시야에서 불균일성을 줄일 수 있습니다. 이 도구에는 고급 광학 서브시스템이 장착되어 있습니다. 0.040 "미크론 '의 인상적 인 해상도 로 입자 와 긁힘 과 같은 미세 한 결함 을 감지 할 수 있는데, 이것 은 입자 결함 을 정확 하게 식별 하는 데 도움 이 된다. 자산은 진정한 결함을 조기에 정확하게 식별하기 위해 고급 소음 면역을 제공합니다. 또한, 이 모델은 고급 MultiSense2 Equalization Technology를 통해 고급 허위 결함 방지 기능도 제공합니다. KLA Archer XT + 는 독점적 인 이퀄라이제이션 기술 (Equalization Technology) 의 도움을 받아 다차원 스캔 헤드로 가장 복잡한 마스크 및 웨이퍼 구조조차도 신속하게 처리하도록 설계되었습니다. 엄밀한 간격 (spaced spaced) 패턴과 같은 도전적인 기판에서도 넓은 영역을 빠르고 정확하게 검사 할 수 있습니다. TENCOR Archer XT + 는 장비의 고속, 고해상도, 자동 처리량 최적화를 통해 최고의 on-product 및 post-etch 결함 감지 기능을 제공합니다. 이 시스템은 광범위한 도량형/결함 특성 툴과 호환되며, 자동 (automated) 처리량 추적 및 최적화를 지원합니다. 또한 KLA는 효율성을 높이기 위해 통합 소프트웨어 패키지 제품군을 제공합니다. 여기에는 고급 프로세스 제어 (process control) 및 패턴 일치 알고리즘 (pattern matching algorithm) 이 포함되며 검사 단위를 완벽하게 제어하고 최적화합니다. 결론적으로 Archer XT + 는 강력하고 다재다능한 마스크 및 웨이퍼 검사 기계입니다. 또한 MultiSense2 Equalization Technology와 더불어 고급 옵티컬 서브시스템 (Optical Subsystem) 기능을 제공하여 결함 검출 시 최고의 민감성과 정확성을 제공합니다. 또한, 고급 소프트웨어 제어 및 자동화 기능을 지원하여 처리량을 극대화할 수 있습니다.