판매용 중고 KLA / TENCOR Archer AIM #9293250

KLA/TENCOR Archer AIM은 자동 인라인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 수율 관리, 결함 처리 및 장치 검증을 위한 높은 수준의 성능을 제공합니다. 이 시스템에는 4k 픽셀 검출기 어레이가 장착 된 검사 헤드 (Inspection Head) 가 장착되어 있어 작은 결함을 감지하기 위한 고해상도 검사가 가능합니다. 광 장치 (optical unit) 는 강력한 이미지 처리 및 결함 감지 알고리즘과 결합하여 가장 높은 결함 감지 정확도를 제공합니다. 이 시스템에는 고유한 자동 최적화 프로세스 (auto-optimization process) 가 포함되어 있어 특정 응용 프로그램에 대한 도구를 사용자 정의하고 감지 민감도를 향상시킬 수 있습니다. 또한 자산은 자동 (automated) 및 수동 (manual) 결함 검토를 모두 지원하여 포괄적이고 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이 모델에는 결함 검토 스테이션 (Defect Review Station) 이 장착되어 있어 결함을 빠르고 쉽게 식별, 분류할 수 있습니다. 무료 고급 소프트웨어 패키지는 가상 검토 (Virtual Review) 를 제공하여 원래 디바이스 데이터를 검사 프로세스 (Inspection Process) 의 결과와 비교할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 결함 분류 라이브러리 (Defect Classification Library) 를 제공하여 사용자가 특정 프로세스에 적합한 사용자 정의 결함 목록을 개발하고 저장할 수 있도록 합니다. 이 장비는 다양한 고급 검사 (advanced inspection) 와 결함 찾기 (fault-finding) 기술을 통합하여 빠르고 정확한 결함 식별을 보장합니다. 이 시스템은 고급 자동 측정 기능을 갖춘 SEM (Scanning Electron Microscope) 장치를 사용하여 빠르고 정확한 결함 크기와 결함 위치를 식별할 수 있습니다. 또한 고해상도 이미지를 위해 CCD (charge-coupled device) 기술을 사용하는 CD-SEM 머신도 포함되어 있습니다. CD-SEM 도구는 결함 분류 응용 프로그램을위한 3D 고해상도 스테레오 현미경과 통합됩니다. 또한, 자산을 결함 분류를위한 다양한 고급 도량형 시스템과 통합 할 수 있습니다. 이 모델에는 보안 매개변수 (Secure Parameters), 인증 메커니즘 (Authentication Mechanism) 및 종합적인 시스템 로그 (Log) 로 구성된 장비 전체의 보안 네트워크가 포함되어 있어 품질 요구 사항을 완벽하게 보호합니다. 또한 사용자는 '검토/분석' 툴을 원격으로 액세스할 수 있으므로 신속하게 문제를 논의하고 검토할 수 있습니다. 마지막으로, 머신은 프로세스 효율성을 높이고, 처리량을 높이고, 허위 거부를 줄이기 위해 설계되었습니다. 이 도구는 사용자에게 매우 민감하고 정확한 검사 결과와 단축된 감지 시간 (detection time) 을 제공합니다. 이 자산은 프로세스 엔지니어 (Process Engineer) 와 운영자 (Operator) 에게 직접 상세한 결함 보고서 요약을 작성하여 검토 프로세스를 단순화합니다. 이러한 모든 기능과 장점은 KLA Archer AIM을 이상적인 마스크 및 웨이퍼 검사 모델로 만듭니다.