판매용 중고 KLA / TENCOR Archer AIM #9276702

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ID: 9276702
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Overlay inspection system, 12" SMIF: (2) Loadports (Isoport) GEN3 Handler 2004 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM은 고급 머신 비전 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 반도체 마스크 및 웨이퍼 크리티컬 레이어에 대한 고해상도, 자동 검사를 제공합니다. 이 시스템은 고급 광학 (optic) 과 소프트웨어 (software) 를 결합하여 반도체 장치의 생산 및 설계에 중요한 매우 정확하고 민감한 측정을 가능하게 합니다. 먼저, KLA Archer AIM은 초고해상도 광학 및 이미징 기능을 초고속 스캔 속도로 제공합니다. 이렇게 하면 장치가 임계 레이어 (critical layer) 와 마스크 이미지를 빠르고 정확하게 얻을 수 있습니다. "카메라 '와 광학" 콤비네이션' 은 가시 광선 의 파장 아래 가장 훌륭 한 세부점 과 세부점 을 집어 올릴 수 있다. 또한, 기계는 매우 높은 감도로 마스크 및 웨이퍼 레이어의 작은 변화를 감지하고 측정하여 석판화 결함을 0.01äm 작게 감지하고 라인 에지 거칠기, 라인 너비 거칠기, 결함 밀도, 용량 대 크기, 반복 성, 균일성 등과 같은 사양 기능을 감지할 수 있습니다. 등. 마스크 및 웨이퍼 검사의 정확성과 일관성을 보장하기 위해 TENCOR Archer AIM (Archer AIM) 은 현장에서 검증된 여러 이미지 처리 알고리즘과 고급 분석 기능으로 설계되었습니다. 이 알고리즘과 소프트웨어 모음은 오염, 패턴 변형, 작은 선 (small line) 또는 얇은 선 (thin line) 과 같은 이상을 감지하고 측정 할 수 있습니다. 또한, 소프트웨어는 임의의 방향에서, 또는 임의의 각도 또는 방향에서 마스크, 웨이퍼를 측정 할 수 있다는 점에서 다차원적입니다. 이를 통해 중요 계층에 대한 보다 포괄적인 검사 및 분석이 가능합니다. 또한 기본 제공되는 결함 검토 (F결함 검토) 모듈을 통해 사용자가 결함을 보다 철저히 검토하고 분석할 수 있습니다. 이 데이터를 사용하여 보고서, 그래프, 이미지를 생성하여 결함을 식별하고 분류할 수 있습니다. 그런 다음 다른 직원 또는 부서와 보고서를 공유하여 검토할 수 있습니다 (필요한 경우). 또한 Archer AIM 은 사용자 친화적인 GUI (Graphical User Interface) 로 구성되어 운영자가 쉽고 빠르게 도구를 구성하고 검사 결과를 볼 수 있습니다. 특정 마스크/웨이퍼 검사 어플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있는 유연한 하드웨어/소프트웨어 옵션이 제공됩니다. 전반적으로 KLA/TENCOR Archer AIM은 강력하고 신뢰할 수있는 기계 비전 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로, 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 제공합니다.
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