판매용 중고 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9237501

KLA/TENCOR Archer AIM + 는 향상된 프로세스 제어, 개선 및 오류 감소를 제공하기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 전례없는 해상도, 민감도 및 결함 감지 속도를 제공합니다. 이 장치는 고해상도 카메라 (Camera), 이미지 프로세서 (Image Processor) 및 이미지를 분석하기위한 독점 알고리즘을 갖춘 고급 광 디자인으로 구성됩니다. 이 고급 기술 조합을 통해 기계는 크기가 25 나노미터 (25 나노미터) 에 불과한 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 도구는 검출되지 않을 수 있는 심각한 패턴 결함 (critical pattern defects) 을 드러낼 수 있으며, 이는 가장 중요한 레이어를 검사하여 정확성과 정밀도에 이상적입니다. 자산은 운영자 상호 작용을 최소화하고 검사 프로세스를 단순화하도록 설계되었습니다. GUI (Graphical User Interface) 는 모든 설정 및 구성 요소에 대한 사용 편의성과 직관적인 액세스를 제공하여 빠르고 정확한 설정 및 실시간 조정을 지원합니다. 이 모델은 완전히 자동화되어 있으며, 필요한 경우 자동 (unattended) 실행으로 설정할 수 있습니다. 이 장비는 마스크 및 웨이퍼의 결함 뿐만 아니라, 임계 치수 (CD) 및 패턴 라인 너비 (line width of pattern) 와 같은 중요한 매개변수의 변형도 감지 할 수 있습니다. 즉, 성능을 변경할 수 있는 모든 변형을 플래깅하여 장애 없이 작업을 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 포괄적인 데이터 수집/분석 소프트웨어 (데이터 저장/검색, 분석/모니터링 프로세스 실행) 를 제공합니다. 이 장치의 보고 모듈은 자동으로 결과를 사용자 정의 기준과 비교하므로, 개선 영역을 쉽게 파악할 수 있습니다. 기계만의 고유한 기능 조합은 최고 품질의 마스크와 웨이퍼를 보장하는 데 도움이 됩니다. 또한 기존 검사 시스템에 비해 더 높은 수율과 향상된 성능을 제공하면서 시간과 자원을 절약할 수 있습니다 (영문).