판매용 중고 KLA / TENCOR Archer AIM #9231862

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ID: 9231862
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Overlay inspection system, 12" With ASYST IsoPort 9700-9129-01 Rev K load port Dual load ports EFEM With ASYST IsoPort Signal light tower BROOKS AUTOMATİON Handler with pre-aligner and robot Robot controller Handler I/O Interface board Motion controller Optic Z-Stage Pneumatic box (Air and vacuum module) Computer Keyboard and mouse Operator console Monitor Floppy Disk Drive (FDD) CD ROM Drive Tape drive Printer EMO Shelf Floatation damaged Missing parts: SBC Controller Floatation controller Hard Disk Drive (HDD) Power supply: 230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase 208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase 2003 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM (CLA/TENCOR Archer AIM) 은 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 최대 7m 픽셀 해상도로 기판의 고해상도 이미지를 캡처하여 결함을 분석합니다. 플래시 메모리 (flash memory), LCD (LCD), 고급 기능 크기 (feature size) 등 고음질 웨이퍼 및 마스크 기판에 대한 빠르고 정확한 검사를 수행할 수 있습니다. 고해상도 이미지는 패턴 (Pattern) 을 비교하여 제조 및 어셈블리 결함을 파악하는 소프트웨어 모듈 (Software Module) 에 의해 분석 및 평가됩니다. 여기에는 웨이퍼 결함 분석, CD (Critical Dimension) 측정 및 전기 테스트 기능과 같은 도구가 포함됩니다. 또한 필름 크래킹 및 열 스트레스 분석을 포함하여 비 파괴적인 물리적 결함 분석을 제공합니다. 애플리케이션별 작업 선택 및 조작을 위해 사용이 간편한 프런트엔드 (Front-End) 소프트웨어를 사용하여 사용자의 검사 작업을 생성할 수 있습니다. 또한 강력한 맞춤형 사용자 인터페이스를 통해 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 검사 작업을 실행하여 최적화할 수 있습니다. 이 시스템은 다양한 공급업체의 와퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 블랭크를 처리하기 위한 다양한 로봇과 연결됩니다. 통합 결함 검토 (Integrated Defect Review) 솔루션은 검사 도구로 수집한 이미지에 대한 자세한 분석 작업을 수행할 수 있는 안전한 검토 환경을 제공합니다. 클래스를 선도하는 이미지 충실도 (fidelity) 를 통해 전체 웨이퍼 또는 마스크 공백을 신속하게 비교할 수 있습니다. 또한, 검토 도구에는 결함 클러스터를 찾는 데 도움이 되는 정교한 패턴 인식 도구가 포함되어 있습니다. 전반적으로 KLA Archer AIM은 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 강력하고 신뢰할 수있는 솔루션을 제공합니다. 고해상도 이미징 기능과 결합된 정교한 소프트웨어 모듈 (Suite of Software Module) 은 고급 물리적 결함 분석, CD 측정, 전기 테스트 등에 이상적인 제품입니다. 또한 통합된 결함 검토 (Defect Review) 솔루션을 통해 구성 및 어셈블리 결함을 빠르고 정확하게 파악할 수 있습니다.
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