판매용 중고 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9213343
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KLA/TENCOR Archer AIM + 는 마스크 및 웨이퍼 제작 산업에 대한 자동 광학 검사 (AOI) 및 ATP (Automated Test Patterning) 를 모두 제공하는 고급 검사 장비입니다. KLA 특허 3D 셀 기반 비전 인텔리전스 프로세스와 TENCOR 혁신적인 메카트로닉스 및 머신 비전 기술을 결합하여 포괄적이고 자동화된 검사 솔루션을 제공합니다. KLA Archer AIM + 시스템은 상세한 3D 이미징을 제공하여 오늘날의 고급 photomask 기술에서 볼 수있는 2D 표면과 복잡한 3D 컴포넌트 형상에서 모두 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 고급 알고리즘을 사용하여 모든 유형의 photomask 패턴 및 구성 요소 형상 (예: 단일, 이중 및 틸트 링, 높은 종횡비 및 LER (Line-Edge-roughness), 마스킹 영역 스캔) 을 검사합니다. TENCOR Archer AIM + 는 특허를받은 3 차원 AOI 프로세스와 자동 TTD (True-Time-Delay) ATP를 사용하여 반복 가능성을 보장하여 정확한 결과를 신속하게 제공합니다. 자동화된 TTD 프로세스는 테스트 (Test) 와 측정 (Measurement) 데이터 사이의 시간 간격을 보완하여 일관되고 정확한 결함 감지 결과를 가져옵니다. 이 기계는 모듈식 설계를 통해 기존 운영 흐름에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 이 도구는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 에 의해 제어되므로 몇 번의 클릭만으로 정교한 프로그래밍이 가능합니다. 제어 소프트웨어는 그래픽 메뉴, 드래그 앤 드롭 (drag-and-drop) 작업 및 상황에 맞는 도움말을 사용하여 효율적인 작업을 수행할 수 있습니다. 아처 AIM + (Archer AIM +) 자산은 개별 칩 수준에서 결함을 감지, 분석, 수정하여 높은 수준의 생산 자동화 및 높은 수율을 얻을 수도 있습니다. 이 모델에는 품질 모니터링을위한 SPC (Basic Statistical Process Control) 와 프로세스 기능 및 반복 기능을 향상시키는 고급 SPC가 있습니다. 효율적인 레시피 처리 (Recipe Handling) 및 데이터 관리 (Data Management) 기능을 통해 장비는 재구성 없이 향후 프로세스 요구 사항에 쉽게 적응할 수 있습니다. KLA/TENCOR Archer AIM + 시스템은 마스크 및 웨이퍼 제작에 이상적인 솔루션으로, 사용자 친화적 패키지에서 탁월한 정확성과 효율성을 제공합니다. 모듈식 설계 (modular design) 와 고급 알고리즘 (advanced algorithm) 을 통해 마스크 및 웨이퍼 품질 관리 및 검사 요구 사항에 대한 포괄적인 솔루션을 제공합니다.
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