판매용 중고 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9198841

KLA/TENCOR Archer AIM + 는 HAR (High Aspect Ratio) 마스크, 웨이퍼 및 기타 플랫 오브젝트에서 자동화되고 안정적인 고속 결함을 감지하기 위해 설계된 종합 검사 장비입니다. 첨단 광 검사 시스템 (Optical Inspection System) 은 표면 및 3D 결함 검사, 이중 측면 결함 및 패키지 기능 검사, HAR 기술에 대한 빠르고 정확한 테스트, 그리고 다양한 기능을 제공합니다. 이 장치는 고출력 (high-throughput) 모드로 설계되었으며, 비교적 짧은 시간 안에 넓은 영역을 스캔할 수 있습니다. UV 및 가시 광원과 2 개의 카메라를 모두 수용 할 수있는 2 개의 헤드와 각각 롤오프 머신과 '다크 필드' 측정 렌즈가있는 2 개의 헤드가 있습니다. 이 도구에는 또한 고해상도 이미징 센서와 특정 고객 요구를 충족하는 optic (옵션) 이 최대 4개 포함되어 있습니다. KLA Archer AIM + 는 내장 검색 및 감지 알고리즘으로 구동되며, wafer line-edge 결함, package warpage and micro-bend, wafer micro-crack, discoloration and line-width issue, mask-level defects. 자산의 자동 결함 및 패키지 피쳐 검색 모델 (automated defect and package feature detection model) 은 다양한 표면, 모양, 크기를 감지하여 마스크 및 웨이퍼 검사 요구 사항을 요구하는 데 이상적인 솔루션입니다. TENCOR Archer AIM + 장비에는 3D '스택 뷰어' 도 장착되어 있어 결함, 패키지 기능 등을 추가로 분석하고 식별 할 수 있습니다. 또한, 시스템은 '듀티 사이클 (duty cycle)' 기능을 제공하여 처리량을 늘리고 검사 주기 시간을 단축합니다. 마지막으로, 이 장치는 고급 데이터 로깅 및 분석 시스템 (advanced data logging and analysis machine) 을 제공하여 고객에게 상세한 결함 및 패키지 기능 데이터를 제공합니다. 요약하면, Archer AIM + 는 까다로운 마스크 및 웨이퍼 검사 요구 사항에 적합한 자동화되고 안정적인 고속 결함 및 패키지 기능 검사 도구입니다. 이 자산에는 고급 광학, 이미징, 감지 (detection) 기술, 강력한 분석 및 데이터 로깅 툴이 장착되어 있어, 고객에게 상세한 결함 및 패키지 기능 데이터를 제공합니다. 이 모델은 고속, 고속 처리 검사 프로세스에 유용한 자산입니다.