판매용 중고 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9176822

KLA/TENCOR Archer AIM + 는 반도체 산업의 가장 어려운 요구 사항을 충족하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 가장 어려운 포토 마스크 (photomask) 와 레티클 (reticle) 폼 팩터의 검사에서는 비교할 수없는 정확성과 반복성을 제공합니다. 컴퓨터 제어 광학 (computer-controlled optics), 고급 패턴 인식 알고리즘 (advanced pattern recognition algorithm), 완전 통합 소프트웨어 플랫폼 (fully integrated software platform) 과 같은 최첨단 기술을 통해 금속 및 세라믹 재료의 결함과 이상을 안정적으로 감지할 수 있습니다. KLA Archer AIM + 시스템은 고급 광 장치를 사용하여 모든 마스크 또는 웨이퍼에 대한 중요한 세부 사항을 캡처합니다. 그것 의 광학 기계 는 "렌즈 '를 넓게 선택 하여, 기판 표면 에 있는 결함 과 이상 을 빠르고 정확 하게 인식 할 수 있게 한다. 이 도구는 특히 작은 기능을 캡처할 수 있으며, 대부분의 경쟁 시스템에서는 사용할 수 없습니다. TENCOR Archer AIM + 자산은 자동 샘플 로드 및 언로드가있는 로봇 처리 모델도 갖추고 있습니다. 이는 샘플 로드 프로세스에서 반복성을 보장하며, 전체 주기 시간을 향상시킵니다. 또한, 장비는 오버레이 배치 (overlay placement) 와 정렬 (alignment) 을 정확하게 측정하여 마스크 또는 웨이퍼의 기계적 무결성을 평가하는 이상적인 도구입니다. 정확한 검사를 위해 Archer AIM + 시스템은 최첨단 하드웨어와 정교한 패턴 인식 (pattern recognition) 및 결함 감지 알고리즘을 결합합니다. 이 장치는 마스크 또는 웨이퍼 표면의 패턴 및 이상을 최대 0.1 "m '의 해상도로 인식 할 수 있습니다. 입자, 구덩이, 줄무늬, 핀홀, 균열 등 모든 각도 또는 위치에서 효과적으로 감지할 수 있습니다. 이 기계는 또한 분석 기능을 개선하기위한 많은 도구를 제공합니다. 여기에는 이미지 왜곡 수정, 자동 결함 분류 및 유연한 메트릭 기반 규칙 도구가 포함됩니다. 또한 자산은 아처 인사이트 (Archer Insight) 라는 소프트웨어 플랫폼과 통합되어 검사 데이터를 쉽게 관리할 수 있습니다. KLA/TENCOR Archer AIM + 모델은 신뢰할 수 있고 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사가 필요한 반도체 제조업체에 이상적인 선택입니다. 첨단 기술과 자동화된 처리 (automated handling) 절차를 통해 수익률 크리티컬한 검사를 정확하고 반복적으로 수행할 수 있습니다. 또한 Archer Insight 는 검사 데이터를 관리, 분석, 보고하기 위한 직관적인 플랫폼을 제공합니다.