판매용 중고 KLA / TENCOR Archer AIM #9173737

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KLA / TENCOR Archer AIM
판매
ID: 9173737
Overlay inspection system Specifications: 12" With dual FOUP for dram and NAND Fully automated overlay measurement module: Coherence probe Interference microscope Automated wafer handling Software: Windows XP based SW and User Interface Integrated user interface Includes: 19" LCD Screen 3.5" Floppy drive CD ROM Drive Tape drive back up system (DAT) Video hard copy printer Network: RJ45 (10 Base-T) and BNC and AUI connectors Tool options: Electrical wiring EMO Shield Archer 02S & 03 painted skins CMP Measurement (CPM+ANRA) Signal tower: (4) Lamps 40mm Currently de-installed.
KLA/TENCOR Archer AIM (KLA/TENCOR Archer AIM) 은 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로 파운드리와 고객이 제조 공정을 향상시키도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고출력 레이저, 고급 옵틱 (optic) 및 정교한 이미징 장치로 구성됩니다. 이 조합을 통해 기계는 결함을 빠르고 정확하게 감지하고 식별 할 수 있으며, 반도체 마스크, 웨이퍼 검사, LCD/CNT 마스크 검사, MEMS 장치 검사 등 다양한 어플리케이션에 귀중합니다. 고출력 레이저 (High Power Laser) 는 공구의 첫 번째 구성 요소이며 강렬한 광선을 생성하는 데 사용됩니다. 그 광선 은 세밀 하게 조율 되어 있어서 "웨이퍼 '나" 마스크' 를 칠 때 그 제품 의 여러 가지 특징 을 비추게 된다. 이 빔은 누락 된 코팅, 모서리, 서피스 피쳐 등과 같은 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 정교한 광학을 통해 KLA Archer AIM은 다른 제품을 자세히 검사 할 수 있습니다. 광학은 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 에서 연약한 단일 에치 구조를 식별 할 수 있도록 레이저 빔을 정확하게 편광하고 분산시킵니다. 또한 제품 이음새 (seam) 에서 부적절한 등록 및/또는 빈약한 결합을 찾을 수 있으며, 감지 기능이 향상되었습니다. 에셋의 이미징 모델은 CCD 라인 카메라로 구성되며, 각 라인 스캔으로 제품의 이미지를 캡처합니다. 캡처된 그림은 결함 관리 장비 (Disect Management Equipment) 를 통해 전달되며, 이 장비는 고급 알고리즘으로 결함을 식별합니다. 그런 다음, 검색된 결함은 제품이 생산 라인에 들어가기 전에 플래깅할 수 있습니다. TENCOR Archer AIM은 검사 기능 외에도 다양한 제품에 대한 인라인 도량형 솔루션을 제공합니다. 이러한 도량형 측정은 검사 중에 모니터에서 직접 읽을 수 있으므로, 빠르고 간편한 품질 관리 (Quality Control) 가 가능합니다. Archer AIM 시스템을 최대한 활용하기 위해 사용자는 다양한 보고 및 워크플로우 관리 툴을 활용할 수 있습니다. 이렇게 하면 중앙 데이터베이스에서 결과를 정확하게 추적, 유지 관리할 수 있습니다. 결론적으로 KLA/TENCOR Archer AIM은 강력하고, 신뢰할 수 있으며, 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. 그 방법 은 신속 하고 정확 하게 결함 을 탐지 하고 식별 할 수 있어서, 여러 가지 "응용프로그램 '에 이상적 이다. 이 기계는 또한 인라인 (in-line) 도량형 솔루션 및 기타 기능을 제공하여 사용자가 운영 프로세스를 간소화할 수 있도록 지원합니다.
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