판매용 중고 KLA / TENCOR Archer AIM #9038074
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판매
ID: 9038074
Overlay inspection system, 12"
Upgraded from a KLA Archer 10-02 Overlay system in Q3 2003:
a. Archer 10 upgrade to Archer AIM: Hardware upgrade to Archer 10XT and software upgrade to Archer AIM.
b. Archer Analyzer v 1.0 client (includes software disk and documentation).
c. Remote Archer Analyzer v 1.0 network client (includes software disk and documentation)
RFID reader and software upgrade in Q4 2005:
a. 0047590-000 E87 CARRIER MANAGEMENT SERVICE
b. 0047593-000 E40/E94 PROCESS JOB MANAGEMENT
c. 0043182-000 KIT,TDK CID,HERMOS ASCII RS232
300MM FOUP upgrade in Q4 2005:
a. (1) 0103388-000 Phoenix 300MM Dual FOUP
b. Preshipment Items:
i. (1) 0070136-000 Chuck assy
ii. (1) 0053800-002 3rcher Wait Station
iii. (1) 750-482031000 FFU High Top Sys.
iv. (1) 0031072-000 FFU Roof Wall Assy
Missing stage and isolation controller
2003 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 정밀도가 높은 자동 결함 감지 및 특성화가 가능합니다. 탁월한 이미지 구입, 놀라운 처리 속도, 강력한 이미징/분석 툴을 제공합니다. KLA Archer AIM 시스템은 전통적인 사진 마스크 검사, 다이 투 다이 결함 검사, 3D 결함 인식 등 고객의 특정 어플리케이션을 모두 처리하도록 설계되었습니다. 이 장치는 고속 라인 스캔 (Line Scan) 이미징 아키텍처를 사용하여 결함 감지 및 결함 특성을 위해 고해상도 이미지를 얻습니다. 이미징 엔진은 진정한 450mm 웨이퍼 커버리지를 제공하는 22nm의 픽셀 크기를 자랑합니다. 가장 큰 웨이퍼조차도 정확하게 처리 할 수있는 이러한 기능으로 TENCOR Archer AIM은 매우 높은 정확도로 결함을 식별 할 수 있습니다. 이 기계에는 정확하고 강력한 자동 결함 감지 및 분류를 위해 강력한 최첨단 Image Recognition Software가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 뛰어난 싱글 스트로크 에지 감지, 패턴 인식 및 잘못된 긍정적 차별을 제공합니다. 이 도구는 또한 설계 레이아웃에서 비정질 패턴에 이르기까지 모든 것을 검토 할 수있는 높은 처리량 웨이퍼 (throughput wafer) 검사를 위해 정교한 분석 엔진을 포함합니다. 아처 AIM (Archer AIM) 에셋은 고급 이미징 및 자동화 툴의 탁월한 조합을 제공하여 기존의 대용량 마스크 검사 (mask inspection) 와 고급 고객별 어플리케이션에 모두 적합합니다. 일반 (Normal) 구조와 변칙적 (Anomalous) 구조를 자동으로 검사하고 특성화하여 프로세스 개발을 신속하게 수행할 수 있습니다. 또한, KLA 고급 소프트웨어 툴은 종합적인 데이터베이스에 대한 액세스, 패턴 검토, 웨이퍼 레이아웃 수정, 자동 기능 및 패턴 인식, 잘못된 양의 감소, 배치 처리 등 완벽한 마스크 검사 성능 및 기능을 제공합니다. 이 모델은 또한 고급 현미경 도구와 통합하여 더욱 상세한 분석 기능을 제공합니다. 전반적으로, KLA/TENCOR Archer AIM 장비는 강력하고 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션으로, 기존 마스크 검사 및 고급 고객 특정 어플리케이션에 대한 신뢰할 수 있고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.
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