판매용 중고 KLA / TENCOR Archer AIM MPX #9383055

KLA/TENCOR Archer AIM MPX는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 포토 마스크 및 웨이퍼에 대한 크리티컬한 기능과 중요하지 않은 기능을 자동으로 검사할 수 있습니다. 이 시스템에는 Optimode 기능, 특허를 받은 4D (4-Dimensional) 레이저 산란 측량 작업 흐름, 여러 패턴 인식 기술 등의 고급 기술이 통합되어 있어 모든 결함이 안정적으로 식별되고 안정적으로 측정됩니다. [Optimode] 기능을 사용하면 마스크 또는 웨이퍼의 모든 기능을 정확하게 확인하고 측정할 수 있습니다. 이는 "레이저 스팟 '크기와 요청된 스캔 횟수를 제어하는 방식으로 작동합니다. 레이저 산란 측정법 (Laser scatterometry) 은 다이 모양과 3D 피쳐의 복잡성을 측정하여 인간 상호 작용이 필요 없이 평평하고 복잡한 표면에서 고대비 피쳐를 측정할 수 있습니다. Optimode 기술 외에도 KLA Archer AIM MPX에는 다양한 패턴 인식 기술이 적용되어 정확한 검사 결과를 보장합니다. 여기에는 동적 결함 감지, 자동 임계값 선택, 자동 구성 가능 피쳐 템플릿 라이브러리가 포함됩니다. 또한 이 단위는 JPEG, TIFF, PDF 등의 다양한 형식으로 검사 보고서를 제공하며, 최대 500배까지 확대할 수 있습니다. TENCOR Archer AIM MPX 기계는 HVM (High Volume Manufacturing) 과 같은 다양한 성장 및 오버레이 프로세스를 지원하므로 0.1 미크론의 해상도까지 기능을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 완전히 어두운 주변 환경에서 작동하며, 일관된 열 프로파일을 유지하므로, 매우 정밀하게 측정할 수 있습니다. 또한 Archer AIM MPX는 검토, 지점, 비교, 오버레이 및 low-k를 포함한 다양한 검사 모드를 제공합니다. 검토 모드 (Review mode) 는 마스크 또는 웨이퍼를 볼 수 있는 표현을 제공하는 반면, 비교 모드는 마스크를 나란히 비교하여 부적합성을 평가합니다. 오버레이 (overlay) 모드는 빠른 검사를 위해 여러 마스크를 정렬하는 반면, low-k 모드는 피쳐의 높이와 thinfilmlines를 측정 할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR Archer AIM MPX는 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 모델로, 최적의 기능 조합을 제공하여 빠르고 정확한 결함 감지, 잠재적 수익률 손실 확인, 제조 정확성 향상 등을 제공합니다. 강력한 기능을 통해 검사 시간이 단축되고 생산성이 향상됩니다.