판매용 중고 KLA / TENCOR Archer AIM MPX #9239066

KLA / TENCOR Archer AIM MPX
ID: 9239066
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer AIM MPX는 반도체 제작 공정에서 고급 도량형 및 항복 관리를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 제품은 이미지 기반 기술을 활용하여 웨이퍼 (Wafer) 표면에서 중요한 기능 측정의 품질을 결정하며, 제조업체가 더 높은 성능, 더 빠른 신뢰성 있는 웨이퍼 장치 (Wafer Device) 를 만들고 정확도를 높일 수 있도록 합니다. KLA Archer AIM MPX의 핵심에는 독점적 인 MDVT (Multi-Dimensional Visualization Technology) 가 있는데, 이를 통해 시스템은 기존 이미징 시스템에서 보이지 않을 수있는 가장 작은 결함을 감지하고 식별 할 수 있습니다. TENCOR Archer AIM MPX는 고급 이미지 벡터 프로세서, 고급 조명 시스템, 특허를 받은 광학 구성 요소를 결합하여 고해상도에서 초당 최대 46 개의 이미지를 캡처 할 수 있습니다. 즉, 여러 개의 독립 이미징 채널을 활용하여 단일 웨이퍼 (wafer) 또는 다중 웨이퍼 (wafer) 를 동시에 신속하게 검사하고 스캔할 수 있습니다. 이 병렬화를 통해 Archer AIM MPX는 이미지에 인공물을 도입하지 않고 초 내에 전체 웨이퍼 서피스의 피쳐를 측정하고 검사할 수 있습니다. 또한 자가 도킹 (self-docking) 설계를 통해 웨이퍼를 쉽고 빠르게 로드하고 언로드하여 제조업체가 검사 프로세스를 신속하게 최적화할 수 있습니다. KLA/TENCOR Archer AIM MPX는 최고 수준의 정밀도 및 정확도를 충족하도록 설계되었으며, 기능을 50nm까지 분석하고 1mil 위치 정확도로 결함을 감지할 수 있습니다. 또한, 자동화된 결함 분류와 정교한 허위 (false positive) 감지 기능을 제공하여 실제 결함을 식별하지만 허위 (false) 를 줄일 수 있습니다. 또한 KLA Archer AIM MPX와 함께 제공되는 KLA 소프트웨어 제품군은 강력한 분석 및 데이터 시각화 툴을 제공하여 프로세스 최적화 및 수익률 분석 자동화를 위한 향상된 데이터 분석을 제공합니다. 결과적으로 TENCOR Archer AIM MPX는 빠른 레티클 및 포토 마스크 검사 및 웨이퍼 레벨 도량형을 가능하게하며, 생산 수익률과 제조 비용 절감에 대한 전례없는 통찰력을 제공합니다.
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