판매용 중고 KLA / TENCOR Archer AIM MPX #9016583
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판매
ID: 9016583
웨이퍼 크기: 12"
Advanced optical overlay metrology system, 12"
Install Type: Stand-Alone
Brooks Pre-Aligner
Mini-Environment w/HEPA Filter
MPX Focus/Exposure Option (PN: 0047028-000)
300mm Reflective Host Chuck (PN: 0022143-002)
Coherence Probe Interface Microscope
Measures BIB & AIM Grating Targets
Y2K Ready
Automatic Arrayed Target Measurement SW
Cassette Interface:
(2) Asyst IsoPort 300mm Load-ports
PN: 9700-9129-01 rev J
Robot Handler: Brooks
3-Axis, Single Arm, Single Blade
Software:
Win NT OS
Archer AIM Starter Kit w/ RDM Server Upgrade
User Interface:
Monitor: Viewsonic VG181 LCD 19”
3.5” (1.44MB) Floppy Drive
Mitsubishi P91D Thermal Printer
Yamaha CD-R/W Drive
SSD Back-up Drive (DAT)
Keyboard/Mouse/Trackball
Currently crated and stored in a warehouse.
KLA/TENCOR Archer AIM MPX는 마이크로 전자 제조업체의 요구를 충족시키기 위해 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 모두에서 다양한 결함을 감지하고 분석할 수 있는 고해상도 이미징 기능을 제공합니다. KLA Archer AIM MPX는 고도의 수익률 최적화 및 정확한 결함 이미지를 전달하도록 설계되었습니다. 컴팩트한 디자인과 고급, 고속 이미징 아키텍처를 결합하여 검사 처리량을 향상시킵니다 (영문). 이 장치의 중심에는 풀 컬러, HRI (High Resolution Imager) 및 고급 광학이 있어 해상도 이미지가 높고 분석이 빠릅니다. TENCOR Archer AIM MPX는 입자 결함을 감지하고 분석할 수 있으며, 로컬 전압 변경, 브리지된 드롭릿, 지원되지 않는 기능과 같은 제조 결함을 감지할 수 있습니다. 또한 마스크 (mask) 또는 웨이퍼 (wafer) 의 고전압 영역을 확대하여 잠재적으로 치명적인 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 향상된 결함 감지 및 분석을 위해 뛰어난 대비 감도를 제공합니다. Archer AIM MPX에는 또한 결함 감지 성능 향상을 위해 웨이퍼 검사 중에 정확하고 반복 가능한 온도를 유지하는 T-C & S (Thermal Control & Stability Tool) 가 포함되어 있습니다. 이 자산은 로트에서 로트 (lot) 로 제품 변형을 최소화할 수 있으며, 저대비 (low-contrast) 및 고감도 (high-sensitivity) 결함 유형에 대한 감지 정확도를 향상시킵니다. KLA/TENCOR Archer AIM MPX는 사용자가 선택할 수 있는 다양한 이미징 모드를 제공하여, 다양한 기능을 제공하며, 특정 요구 사항에 맞게 모델을 조정할 수 있습니다. 이미징 모드의 예로는 Low Contour Scan, Low Contrast SLF, High Resolution SLF 및 Low Contrast Edge Enhanced가 있습니다. 또한 KLA Archer AIM MPX 에는 자동 밝기 및 명암비 선택을 위한 소프트웨어 기반의 AutoSensization (자동 감수화) 이 포함되어 있어 사용자의 설정 프로세스를 간소화하고 사용자가 장비와 상호 작용해야 하는 횟수를 줄여줍니다. 또한 ASCII, BMP, TIFF, PDF 및 JPEG와 같은 데이터 내보내기 형식을 생성하여 빠르고 쉽게 보고 할 수 있습니다. 하이엔드 시스템인 TENCOR Archer AIM MPX 는 결함 이미지를 빠르고 정확하게 생성할 수 있으며, 따라서 제조업체가 생산량을 최적화하고, 비용을 절감하고, 제품 품질을 향상시킬 수 있습니다. 이 장치는 다양한 생산 환경에 적합하며, 고속 이미징 (high-speed imaging) 및 신뢰성 있는 결함 감지 기능을 제공합니다.
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