판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 5300 #9295113

KLA/TENCOR Archer 5300은 반도체 산업에 사용되는 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 디지털 이미징 (digital imaging) 기술을 사용하여 프로세스 챔버의 마스크 및 웨이퍼 이미지를 디지털 형태로 빠르게 변형시킵니다. 이를 통해 유닛은 불량, 불규칙성을 정확하게 검색할 수 있으며, 이로 인해 제품이 열등해질 수 있습니다. KLA Archer 5300에는 다이-다이 픽셀 (die-to-die) 픽셀 매핑에서 현지화된 결함 격리까지 다양한 웨이퍼 결함 감지 도구가 있습니다. 마스크 검사를 위해 기계는 철저한 결함 감지를 위해 3 차원 이미징 기능을 제공합니다. 이 도구에는 작은 보이지 않는 구덩이, 긁힘 또는 기타 표면 결함을 감지하도록 설계된 향상된 SAM (Scanning Acoustic Microscopy) 모듈이 있습니다. ACD (Advanced Contamination Detection) 모듈은 웨이퍼의 전면 및 후면에 모두 입자가 있음을 감지합니다. 에셋에는 완전 자동 오류 수정 및 웨이퍼 레벨 결함 계산을위한 고급 Auto Sense 기술도 포함되어 있습니다. 또한 매크로 및 마이크로포토그래피 이미지를 모두 처리 할 수있는 강력한 소프트웨어 기반 현미경 인터페이스가 있습니다. TENCOR Archer 5300 은 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 운영자가 모델의 모든 기능과 설정에 액세스할 수 있도록 합니다. 장비의 각 구성 요소는 통합 원격 이미징 시스템 (Integrated Remote Imaging System) 을 통해 쉽게 관찰할 수 있습니다. 이 장치는 구성 능력이 뛰어나 속도 (Speed), 민감도 (sensitivity), 결함 유형 (defect type), 수평 및 수직 뷰 (horizontal and vertical field of view) 및 기타 다양한 매개변수를 포함한 모든 시스템의 모든 기능을 전문적으로 사용자 정의할 수 있습니다. 아처 5300 (Archer 5300) 에는 샘플 로딩 및 언로드가 쉽고 자동 샘플 정렬을 위해 모듈식 웨이퍼 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 도구는 웨이퍼 스테이지 외에도 다양한 크기의 웨이퍼 카세트와 프런트 엔드 로봇 (인라인 또는 오프라인 검사에 적합) 을 수용하는 카세트 어댑터 (cassette adapter) 를 포함합니다. 결론적으로 KLA/TENCOR Archer 5300은 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 웨이퍼 결함 감지, 고급 자동 감지 (Auto Sense) 및 모듈러 웨이퍼 스테이지 (Modular Wafer Stage) 용 도구를 사용하여 열등한 제품으로 이어질 수있는 불규칙성을 빠르고 정확하게 감지할 수 있습니다.