판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 5300 #9294782

KLA/TENCOR Archer 5300은 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 프로세스 제어를 위해 반도체 웨이퍼의 중요한 기능을 검사하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고급 이미징 광학, 고해상도 디지털 카메라, 고급 이미지 처리 알고리즘으로 구성됩니다. KLA Archer 5300에는 브라이트 필드, 다크 필드, 스트로보 스코픽 및 MLB (MultiLayer Brightfield) 이미징 시스템이 있습니다. 브라이트 필드 (brightfield) 이미징 장치는 매우 작은 결함을 감지하기 위해 가장 높은 해상도를 제공 할 수 있습니다. 다른 이미징 시스템은 표면 결함, 큰 공백, 열악한 가장자리 정의, 어두운 입자 등 다양한 유형의 결함을 감지하는 데 사용될 수 있습니다. 또한 고해상도 CCD 카메라가 특징이며, 최소한의 소음으로 이미지를 매우 자세히 캡처할 수 있습니다. 이 기계에는 고급 이미지 처리 알고리즘 (advanced image processing algorithm) 이 장착되어 있어 입력 이미지의 결함을 감지하고 분석할 수 있습니다. 다른 유형의 결함을 인식하기 위해 알고리즘을 프로그래밍 할 수 있으며, 사용자는 기계의 민감도 (sensitivity) 와 정확도 (accurity) 를 조정할 수 있습니다. 이 툴은 모듈식 (modular) 설계를 통해 광학 컴포넌트 (optical component) 와 처리 알고리즘 (processing algorithm) 과 같은 새로운 모듈로 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. 즉, 사용자가 자산을 최신 기술로 최신 상태로 유지하도록 제어할 수 있습니다 (영문). TENCOR Archer 5300에는 결함 추적 및 식별에 사용할 수있는 웨이퍼 마킹 (wafer marking) 기능도 있습니다. 사내 검증 (model in-house verification) 도구를 사용하여 다양한 장비 매개변수를 확인하고 테스트하여 결과의 정확성과 반복 가능성을 확인할 수 있습니다. 마지막으로, 시스템은 사용자에게 친숙한 GUI, 교육 자료 및 기술 지원을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 장치의 다양한 기능과 기능을 신속하게 이해할 수 있습니다. 전반적으로 Archer 5300은 훌륭한 마스크 및 웨이퍼 검사 기계입니다. 사용자 친화적 GUI 와 결합된 고급 이미지 처리 (advanced imaging) 기술 및 이미지 처리 알고리즘은 프로세스 제어를 위한 완벽한 선택입니다. 또한, 이 모듈식 설계를 통해 사용자는 최신 향상된 기능을 통해 쉽게 도구를 업그레이드할 수 있습니다.