판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 500 #293799368
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KLA/TENCOR Archer 500은 업계 최고의 자동화 기능과 뛰어난 해상도 이미징을 결합한 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고해상도 검사 (high-resolution inspection) 및 로봇 공학 (robotics) 기술을 통해 고급 반도체 재료의 결함을 신속하게 감지하고 분석합니다. 자동 웨이퍼 로딩 및 언로딩 기능 외에도 최대 8k 픽셀 해상도의 완전 통합 이미징 머신 (Fully Integrated Imaging Machine) 과 정확하고 정확한 결함 로컬라이제이션 및 이미징 (Imaging) 을 위한 2축 Gantry 툴 (Gantry Tool) 이 포함되어 있습니다. 자산의 정확도가 매우 높고, 해상도가 높으면 가장 작은 결함까지 안정적으로 감지할 수 있습니다 (영문). 예를 들어, 반 미크론 이하의 결함을 식별 할 수 있으므로 photomask 패턴의 변형이 가능합니다. 프로세스 규정 준수를 보장하기 위해 결함을 자동으로 분류, 분석할 수 있습니다. 모든 크기의 결함과 패턴을 감지하고 비교할 수 있습니다. 자동화 된 로봇 및 이미징 모델을 사용하면 빠르고 효율적인 웨이퍼 검사를 할 수 있습니다. 고급 옵틱 및 이미징 엔진에는 오버레이 기능, 높은 동적 범위 이미징, 다양한 명암비 및 밝기 옵션이 포함되어 있습니다. 이 조합은 빠른 검사 시간과 높은 수준의 정확성을 보장합니다. 이 장비는 최고의 유연성과 확장성을 제공하도록 설계되어, 모든 규모의 생산 환경에 적합합니다. 그것 은 "마스크 '와" 웨이퍼' 에서 장치 와 기판 에 이르기 까지 여러 가지 형태 의 "기판 '을 처리 할 수 있다. 또한, 고급 비전 기술을 사용하면 각 기판에 대한 사용자 지정 검사 설정을 사용할 수 있습니다. KLA Archer 500은 빠르고 안정적이며, 주기를 단축하고, 출시 시간을 단축할 수 있습니다. 이 설정은 결함 검토, 이미징 분석, 데이터 분석 등의 애플리케이션을 위한 강력한 소프트웨어 제품군과 결합됩니다. 마지막으로, 이 시스템은 다양한 서비스와 지원을 받습니다. 여기에는 설치 및 유지 보수, 소프트웨어 개발 및 업그레이드, 교육 및 기술 지원이 포함됩니다. 전체적으로 TENCOR Archer 500 Mask & Wafer Inspection Unit은 엄격한, 정확하고 정확한 반도체 웨이퍼 및 마스크 검사를 최고 속도와 효율성으로 제공하도록 설계되었습니다. 탁월한 해상도 이미징과 강력한 비전 툴셋, 자동화된 로봇 공학을 결합하여 결함 감지, 결함 분류, 결함 분석 등을 통해 생산이 최적화됩니다.
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