판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 500 LCMu #293668510

KLA/TENCOR Archer 500 LCM은 마스크 및 웨이퍼 검사 산업의 주요 공급업체입니다. 제조 프로세스의 핵심 단계에서 수익률에 영향을 미치는 결함을 감지하도록 특별히 설계된 리소그래피 (lithography) 모듈입니다. 이 장비는 가장 까다로운 어플리케이션을 충족하기 위해 최고 수준의 안정성, 정확성, 효율성을 결합한 종합적인 검사 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다 (영문). 이 시스템의 핵심에는 특허를 받은 아크 검사 (Arc Examination) 기술이 있는데, 이 기술은 0.4 m 미만의 해상도 수준에서 결함을 감지 할 수 있습니다. 아처 500 (Archer 500) 의 고급 광학 단위를 통해 기계는 마스크 및 웨이퍼 모두에서 표면 결함, 입자, 로컬 얼룩 및 기타 기능을 동시에 검사할 수 있습니다. 또한, 이 도구의 뛰어난 DTI (Defectivity and Tolerance Index) 기능을 통해 고객은 프로세스 초기에 결함에 영향을 미치는 수익률을 정확하게 분류하고 감지할 수 있습니다. Archer 500은 OCM (Optical Column Module) 과 IAM (Image Analysis Module) 의 두 모듈로 지원됩니다. OCM 은 샘플의 이미지를 캡처하는 역할을 하는 반면, IAM 은 이미지를 처리하는 데 사용되며, 자세한 분석 결과를 제공하는 데 사용됩니다. 이러한 모듈을 결합하여, Archer 500을 사용하여 다양한 검사 시나리오를 다룰 수 있습니다. 자산의 첨단 기술로 마스크 및 웨이퍼 검사의 까다로운 고속, 고해상도, 고해상도 (high-throughput) 요구 사항을 처리할 수 있습니다. 이 모델은 또한 기존 운영 장비에 쉽게 통합 할 수 있도록 설계되었습니다. 원격 제어 기능, 데이터 교환 기능, 고급 진단 툴 등 다양한 사용자 친화적 기능을 갖추고 있습니다. 아처 500 (Archer 500) 은 물리적 검사 외에도 프로세스 레시피의 성능을 분석하는 다양한 진단 기능을 제공합니다. 조사 결과를 프로세스 데이터 (process data) 와 결합하여 결과를 상세히 분석할 수 있는데, 이를 통해 효율성 (efficiency) 과 항복 (revield) 을 극대화하기 위해 잠재적인 결함을 신속하게 파악하고 제거할 수 있습니다. 전반적으로 KLA Archer 500 LCM은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 강력한 도구입니다. 고급 기능 세트 (Advanced Feature Set) 를 통해 빠른 속도와 높은 정확도의 결함 감지 기능을 제공하여, 수율을 최적화하고, 비용이 많이 드는 스크랩을 방지하며, 수작업 검사와 관련된 인건비를 대폭 절감할 수 있습니다.