판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 500 AIM #9353831

KLA/TENCOR Archer 500 AIM은 강력하면서도 비용 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 민감한 결함 감지 및 정확한 결함 특성을 위해 설계되었습니다. 고급 광학, 자외선, 전자 빔 이미징 (Electron Beam Imaging) 기능을 갖춘 이 시스템은 마스크 및 웨이퍼에 대한 상세한 데이터와 종합적인 분석을 통해 모든 결함을 포괄적으로 파악할 수 있습니다. 이 장치는 Archer 500과 Archer 500G의 두 가지 하드웨어 구성으로 제공됩니다. Archer 500은 단일 웨이퍼 검사를 지원하는 반면, Archer 500G는 단일 웨이퍼 검사를 모두 지원하며, 가장 완벽한 분석을 위해 직경 12 인치까지 기판을 제공합니다. 이를 통해 다양한 기판을 가장 높은 정확도로 검사할 수 있습니다. Archer 500과 500G는 모두 강력한 4 배 옵티컬 및 5 배 자외선 이미징을 갖추고 있습니다. 강력한 4 배 광학 배율 (Optical Magnifying Power) 을 통해 기계는 0.25äm 이상의 크기로 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한, HD 이미징은 각 결함의 정확한 위치와 특성을 철저히 분석 할 수 있도록 합니다. 5 배 자외선 이미징은 더 미세한 검사를 가능하게하며, 결함 크기는 0.2äm까지 명확하고 정확하게 감지됩니다. 고급 분석 및 결함 특성을 위해 Archer 500 및 500G는 고급 전자 빔 이미징을 제공합니다. 이를 통해 빔-회로 검사 (beam-circuit inspection) 및 게이트-영역 분석 (gate-region analysis) 을 통해 잠재적인 결함을 가장 포괄적으로 검사할 수 있습니다. 또한이 도구는 고해상도 에너지 분산 분광학 (energy-distersive spectroscopy) 에셋을 장착하여 식별 된 결함의 정밀한 원소 분석을 허용합니다. 마지막으로, Archer 500 및 500G는 KLA 독점 AccuSc 의상 및 분석 소프트웨어의 이점을 얻어 모델과 완벽한 통합, 데이터 분석, 관리 용이성, 보고 기능을 제공합니다. 이를 통해 장비는 결함 또는 오염에 대한 정확하고 포괄적인 이해를 제공할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 Archer 500 및 500G는 강력한 광학, 자외선 및 전자 빔 이미징, 종합적인 분석 기능 및 AccuSc 소프트웨어 복장을 결합한 고급 비용 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템을 제공합니다. 따라서, 이 장치는 최고의 정확도와 정밀도로 완전한 결함 감지 및 특성을 제공 할 수 있습니다.