판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 500 AIM #9277003

KLA / TENCOR Archer 500 AIM
ID: 9277003
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer 500 AIM은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 반도체 업계의 데이터 정확성과 성능에 대한 새로운 표준을 설정합니다. 이 시스템은 고급 이미징 및 패턴 인식 (pattern recognition) 기술을 사용하여 웨퍼 (wafer) 및 기타 첨단 장치용 집적 회로를 생성하는 데 사용되는 패턴 (patterned) 회로의 결함을 감지, 측정 및 식별합니다. 이 장치에는 매우 복잡한 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 매우 빠른 속도와 정확도로 검사할 수있는 몇 가지 고급 엔지니어링 기술이 포함되어 있습니다. 하나는 Auto SEM: 자동 결함 감지 (Automatic Defect Detection) 를 사용하여 패턴화된 칩 레이어의 손상 징후를 신속하게 검사하는 독점 이미지 처리 기술입니다. 이 기계는 또한 고급 서피스 검사 (Advanced Surface Inspection) 알고리즘을 가지고 있으며, 이 알고리즘을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 의 모든 지점, 표면의 작은 결함 또는 교란을 정확하게 샘플링하고 측정 할 수 있습니다. 클라아처 500 AIM (KLA Archer 500 AIM) 의 고급 패턴 인식 기능을 사용하면 작은 피쳐를 스캔하고 입자 오염 및 입자 긁힘과 같은 저대비 결함을 감지 할 수 있습니다. 공구에 통합된 알고리즘은 정교하고 전문화 (specialized) 되어 있으며, 자산은 다른 검사 방법에 의해 누락 된 결함을 인식 할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 칩 (chip) 또는 부품 규모 (part-scale) 결함을 감지할 수 있으며, 제조 과정에서 다른 방법으로 눈에 띄지 않을 수 있습니다. 이것은 장비의 하이 다이내믹 레인지 이미징 (High Dynamic Range Imaging) 에 의해 활성화됩니다. 이 이미징 (High Dynamic Range Imaging) 은 일반 검사 방법으로 누락되거나 간과되는 큰 장애와 작은 장애를 모두 봅니다. TENCOR Archer 500 AIM은 매우 비용 효율적이도록 설계되었습니다. 즉, 다양한 운영 요구 사항에 맞게 구성할 수 있으며, 완전히 자동화된 작업을 실행할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 데이터 손실 (loss) 또는 변경 (alteration) 을 방지하는 고급 보안 (advanced security) 기능을 갖추고 있어 칩의 무결성과 고객의 기밀성을 모두 보장합니다. 요약하면, Archer 500 AIM 마스크 및 웨이퍼 검사 장치는 반도체 제조 작업 중 결함을 감지하고 식별하는 데 효율적이고, 안정적이며, 비용 효율적인 방법입니다. 이 기계는 고급 이미징 (Imaging) 및 패턴 인식 (Pattern Recognition) 기술을 활용하여 집적 회로를 생성하는 데 사용되는 패턴화된 회로 계층의 결함을 빠르고 정확하게 감지, 측정 및 식별합니다. KLA/TENCOR Archer 500 AIM은 다용도, 자동화 기능, 최첨단 보안 기능, 매우 정확한 성능을 갖춘 최신 하이테크 환경을 위한 귀중한 도구입니다.
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