판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 500 AIM #293773651

KLA / TENCOR Archer 500 AIM
ID: 293773651
웨이퍼 크기: 12"
Overlay inspection systems, 12".
KLA/TENCOR Archer 500 AIM은 반도체 제조 공정에 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 다양한 프로세스 노드 (process node) 및 기술에 대한 완벽한 결함 검사 적용 범위를 통해 높은 디바이스 생산량 및 비용 절감 효과를 보장합니다. 이 장치는 고급 이미징 기술과 지능형 소프트웨어 솔루션을 결합하여 향상된 칩 복잡도 (chip complexity) 와 정밀도 (precision) 를 제공합니다. CMOS 및 고해상도 CCD 카메라를 사용하여 고해상도 전면 이미징 및 후면 이미징을 제공합니다. KLA Archer 500 AIM (Archer 500 AIM) 은 모든 프로세스의 특정 요구 사항에 맞게 설계되었으며, 진화하는 프로세스 노드의 변화하는 요구 사항에 맞게 조정됩니다. 이 기계는 강력한 분석 소프트웨어 (Analytics Software) 를 갖추고 있어 이미지에 대한 정확하고 빠른 분석 및 자동 결함 식별이 가능합니다. 이 소프트웨어에는 프로세스 편집을 위한 에지 검사 기능도 포함되어 있습니다. 통합 프로세스 제어 (Integrated Process Control) 기능을 통해 검사 매개변수를 조정할 수 있으며, 프로세스 최적화를 통해 최고 (Highest) 수율과 최고 (Highest) 품질을 얻을 수 있습니다. 또한 TENCOR Archer 500 AIM은 고급 결함 및 입자 감지 기능을 갖추고 있으며, 이중 트랙/멀티 빔 모듈은 크기가 몇 나노 미터 (nanometer) 에 불과한 결함 이미지를 감지하기 위해 이중 레이어 이미징을 제공합니다. 또한 자동 위치 지정 (auto-positioning) 기능을 통해 웨이퍼 및 마스크를 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 도구의 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 작업을 단순화하고 모든 관련 정보에 즉시 액세스할 수 있도록 설계되었습니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 검사 매개변수를 빠르고 쉽게 조정하며 실시간 프로세스 제어를 지원합니다. Archer 500 AIM 은 최고의 안정성과 내결함성 (fault-tolerant) 작동을 위해 설계된 반면, 모듈식 아키텍처는 향상된 유지 관리 기능을 보장하고 향후 업그레이드를 보장합니다. KLA/TENCOR Archer 500 AIM 은 다양한 프로세스 노드 및 기술에 대한 포괄적인 데이터 추출을 제공하는, 고급, 신뢰성, 비용 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션입니다.
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